[发明专利]密排激光驱动模块的故障处理方法、装置及插接方法

说明书

本发明涉及一种密排激光驱动模块的故障处理方法、装置及插接方法，方法包括：开启若干个密排设置的激光驱动模块，使得激光驱动模块在目标物上形成光斑，以使得光斑沿预设间距排布，预设间距为相邻两个光斑之间的距离；判断相邻两个光斑之间的间距是否与预设间距相等；若不相等，标定与预设间距不相等的相邻两个光斑为问题光斑，形成问题光斑的激光驱动模块为问题激光驱动模块，以确定位于两个问题激光驱动模块之间的激光驱动模块为故障激光驱动模块；将位于边侧的激光驱动模块与故障激光驱动模块替换，以使得密排设置的激光驱动模块形成的光斑连续；其中，边侧的激光驱动模块为位于密排设置的激光驱动模块的最外侧。

技术领域

本发明涉及一种密排激光驱动模块的故障处理方法、装置及插接方法。

背景技术

在曝光机进行曝光工作中，为了提高曝光效率，一般使用密集排布的多个激光驱动器对基板进行曝光。但是，激光驱动器由于长时间工作，可能会发生损坏、工作不稳定、功率下降等故障，造成光斑不连续，由于激光驱动器是被封装的，需要专业人士才能更换发生故障的激光驱动器。

为了使密排激光器可以继续工作，常见的做法是：当密排激光驱动器中远离边侧的激光驱动器发生故障，为了保证光斑的连续排布，则使用故障激光驱动器一侧的若干激光驱动器进行工作，而故障激光驱动器另一侧的激光驱动器将会被全部停用，导致曝光机工作效率大大降低。如果发生故障的激光驱动器是排布在中间位置处，那么工作效率会只有50％左右。

发明内容

本发明的目的在于提供一种密排激光驱动模块的故障处理方法、装置及插接方法，其可解决当密排激光驱动模块中的任一激光驱动器发生故障导致工作效率降低的问题。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：一种密排激光驱动模块的故障处理方法，所述方法包括：

开启若干个密排设置的激光驱动模块，使得所述激光驱动模块在目标物上形成光斑，以使得所述光斑沿预设间距排布，所述预设间距为相邻两个所述光斑之间的距离；

判断相邻两个所述光斑之间的间距是否与所述预设间距相等；若不相等，标定与所述预设间距不相等的相邻两个所述光斑为问题光斑，形成所述问题光斑的所述激光驱动模块为问题激光驱动模块，以确定位于两个所述问题激光驱动模块之间的所述激光驱动模块为故障激光驱动模块；

将位于边侧的所述激光驱动模块与所述故障激光驱动模块替换，以使得密排设置的所述激光驱动模块形成的光斑连续；其中，所述边侧的激光驱动模块为位于密排设置的激光驱动模块的最外侧。

进一步地，所述方法还包括：

所述故障激光驱动模块为一个，将任一边侧的一个所述激光驱动模块与所述故障激光驱动模块替换。

进一步地，所述方法还包括：

所述故障激光驱动模块为至少两个，则将任一边侧的至少连续两个所述激光驱动模块与所述故障激光驱动模块替换。

进一步地，所述“将任一边侧的至少连续两个所述激光驱动模块与所述故障激光驱动模块替换”具体为：

自最外侧的所述激光驱动模块开始，将位于边侧的所述激光驱动模块自外向内依次与所述故障激光驱动模块中一一进行替换。

进一步地，所述方法还包括：

所述故障激光驱动模块为至少两个，则将两边侧的至少两个所述激光驱动模块与所述故障激光驱动模块替换。

进一步地，所述“将两边侧的至少两个所述激光驱动模块与所述故障激光驱动模块替换”具体为：

分别自两边侧的位于最外侧的激光驱动模块开始，将位于两边侧的所述激光驱动模块自外向内依次与所述故障激光驱动模块中一一进行替换。

进一步地，所述方法还包括：