[发明专利]收纳装置、基片处理系统和消耗部件的输送方法

权利要求书

1.一种收纳装置，其特征在于，包括：

载置消耗部件的载置台；

检测所述消耗部件的方向的传感器；

旋转部，其基于由所述传感器检测出的所述消耗部件的方向，使所述消耗部件向规定的方向旋转；

收纳部，其位于所述载置台的下部，收纳所述消耗部件；和

使所述收纳部升降的升降部。

2.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于：

所述旋转部位于所述载置台的正下方，使所述载置台旋转。

3.如权利要求2所述的收纳装置，其特征在于：

所述升降部使所述载置台、所述旋转部和所述收纳部升降。

4.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于：

所述旋转部使固定有所述载置台、所述收纳部和所述升降部的基座旋转。

5.如权利要求1～4中任一项所述的收纳装置，其特征在于：

所述消耗部件是边缘环、覆盖环和上部电极之中的一个或者多个。

6.如权利要求1～5中任一项所述的收纳装置，其特征在于：

所述传感器是线传感器。

7.如权利要求1～5中任一项所述的收纳装置，其特征在于：

所述传感器是图像传感器。

8.如权利要求1～7中任一项所述的收纳装置，其特征在于：

所述升降部是滚珠丝杠。

9.一种基片处理系统，其特征在于，包括：

用于处理基片的一个或者多个处理装置；

装载装置，其设置有能够配置可收纳所述基片的盒的端阜，具有大气输送机器人，所述大气输送机器人能够输送配置于所述端阜的所述盒内的所述基片；

负载锁定装置，其与所述装载装置连接，进行大气与真空的切换；

输送装置，其与所述负载锁定装置连接，具有将所述基片输送到所述处理装置的真空输送机器人；和

与所述输送装置连接的收纳装置，

所述收纳装置包括：

载置消耗部件的载置台；

检测所述消耗部件的方向的传感器；

旋转部，其基于由所述传感器检测出的所述消耗部件的方向，使所述消耗部件向规定的方向旋转；

收纳部，其位于所述载置台的下部，收纳所述消耗部件；和

使所述收纳部升降的升降部。

10.一种消耗部件的输送方法，所述消耗部件是收纳装置中的消耗部件，所述消耗部件的输送方法特征在于，包括：

在将所述收纳装置的门和闸门关闭的状态下，将收纳有所述消耗部件的收纳部移动至与所述闸门相对的位置的步骤；

对所述收纳装置内进行抽真空并且用吹扫气体进行调压的步骤；

将所述闸门打开，真空输送机器人从所述收纳部获取所述消耗部件的步骤；

将位于所述收纳部的上部的载置台移动至与所述闸门相对的位置的步骤；

将所述真空输送机器人获取到的所述消耗部件载置在所述载置台的步骤；

使所述载置台移动至对位位置，使所述消耗部件旋转以进行对位的步骤；

将所述载置台移动至与所述闸门相对的位置的步骤；以及

所述真空输送机器人从所述载置台获取所述消耗部件的步骤。