[发明专利]一种夹具、基板加工装置以及夹具的夹持方法

权利要求书

1.一种夹具，其特征在于，包括：

夹具主体；

距离调节件，与所述夹具主体连接，所述距离调节件的第一端部与所述夹具主体之间的距离可调；

承载面，与所述夹具主体相对设置，所述距离调节件的第一端部位于所述承载面与所述夹具主体之间。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹具包括多个所述距离调节件，多个所述距离调节件在所述夹具主体上间隔分布。

3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述夹具主体的形状与待夹持件的形状相匹配，多个所述距离调节件间隔设置于所述夹具主体靠近所述待夹持件的一侧，所述距离调节件的第一端部与所述待夹持件接触。

4.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述距离调节件包括距离调节部和压力传感器；所述距离调节部包括所述第一端部和第二端部，所述第二端部与所述夹具主体连接，所述压力传感器设置在所述第一端部的端面和/或侧面。

5.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹具主体包括固定部和延伸部，所述延伸部可滑动地连接所述固定部，所述距离调节件的第二端部与所述延伸部连接。

6.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，所述夹具主体还包括沿滑动方向延伸的滑轨，所述延伸部包括第三端部和第四端部，所述第三端部与所述固定部嵌套，所述第三端部通过所述滑轨可滑动地连接至所述固定部，所述第四端部突出于所述固定部，所述距离调节件的所述第二端部与所述第四端部连接。

7.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹具还包括辅助夹持件，所述辅助夹持件与所述夹具主体连接，待夹持件设置在所述辅助夹持件和所述承载面之间，所述辅助夹持件在所述承载面上的正投影落入到所述待夹持件在所述承载面上的正投影范围内。

8.一种基板加工装置，其特征在于，包括如权利要求1至7中任一项所述的夹具，所述基板加工装置还包括掩模条，所述掩模条和基板位于所述夹具主体和所述承载面之间；其中，

所述掩模条位于所述承载面和所述基板之间，所述基板夹设固定于所述掩模条和所述第一端部之间。

9.根据权利要求8所述的基板加工装置，其特征在于，所述基板加工装置还包括掩模框架，所述掩模框架位于所述掩模条远离所述基板的一侧，所述掩模框架靠近所述掩模条的表面为所述承载面，所述掩模条和所述基板位于所述第一端部和所述掩模框架之间。

10.根据权利要求8所述的基板加工装置，其特征在于，所述基板加工装置还包括掩模框架和承载平台，所述承载平台位于所述掩模条远离所述基板的一侧，所述承载平台靠近所述掩模条的表面为所述承载面，所述掩模条和所述基板的一部分位于所述第一端和所述承载平台之间；

所述掩模框架与所述夹具主体连接，所述掩模框架与所述承载面相对设置，所述掩模条和/或所述基板的另一部分位于所述掩模框架和所述承载平台之间。

11.根据权利要求8所述的基板加工装置，其特征在于，所述夹具还包括辅助夹持件，所述辅助夹持件包括磁铁，所述磁铁与所述夹具主体连接，所述基板设置在所述磁铁和所述掩模条之间，所述磁铁在所述基板上的正投影落入到所述掩模条在所述基板上的正投影范围内。

12.一种夹具的夹持方法，其特征在于，包括如权利要求1至7中任一项所述的夹具，所述夹具的夹持方法包括：

将待夹持件置于所述承载面与所述夹具主体之间；

调节所述第一端部与所述夹具主体之间的距离，以使所述第一端部靠近所述承载面直至所述第一端部与所述承载面夹紧所述待夹持件。