[发明专利]标记位置设定方法及装置有效

专利信息
申请号: 202110643901.2 申请日: 2021-06-09
公开(公告)号: CN113408120B 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 刘烨凯;王梦亚;赵鹏;程全 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20;G06F30/10;G06F111/04
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 黄舒悦
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 标记 位置 设定 方法 装置
【说明书】:

本申请提供一种标记位置设定方法及装置,该标记位置设定方法包括:根据成膜区位置参数在预设基板上确定第一候选标记区域,并根据占据物位置参数在第一候选标记区域内确定第二候选标记区域,并基于坐标约束参数在第二候选标记区域内确定标记位置参数,根据标记位置参数确定标记的设定位置。本申请根据成膜区位置参数和占据物位置参数确定候选标记区域,并根据坐标约束参数在候选标记区域内确定标记设定位置,该方法便于通过自动化进行标记位置的设定,有利于提升设计掩膜板标记的准确性,并有利于降低生产成本。

技术领域

本申请涉及自动化设计领域,尤其涉及一种标记位置设定方法及装置。

背景技术

掩膜板是显示面板等电子器件制作过程中必不可少的工具,利用掩膜板进行曝光或进行气相定位沉积是制作显示面板过程中的重要手段。掩膜板使用过程中,需要通过多种标记进行定位。目前,设计掩膜板标记的方法是设计师根据设计规则和个人经验人工进行标记位置的设定,这种方法对设计师具有较高的经验要求和极大的依赖性,人力成本和时间成本均较高,且设计的一致性和准确率较差。

所以,目前人工设计掩膜板标记的方法存在成本高、准确性差的技术问题。

发明内容

本申请提供一种标记位置设定方法及装置,用于缓解目前人工设计掩膜板标记的方法存在的成本高、准确性差的技术问题。

本申请提供一种标记位置设定方法,其包括:

获取成膜区位置参数;

根据所述成膜区位置参数在预设基板上确定第一候选标记区域;

获取占据物位置参数;

根据所述占据物位置参数,在所述第一候选标记区域内确定第二候选标记区域;

获取坐标约束参数;

基于所述坐标约束参数,在所述第二候选标记区域内确定标记位置参数;

根据所述标记位置参数确定标记的设定位置。

在本申请的标记位置设定方法中,所述获取成膜区位置参数的步骤,包括:

获取所述预设基板的边缘尺寸参数;

获取边缘保证区的尺寸参数;

根据所述预设基板的边缘尺寸参数和所述边缘保证区的尺寸参数,确定所述成膜区位置参数。

在本申请的标记位置设定方法中,所述获取占据物位置参数的步骤,包括:

在所述第一候选标记区域内检测标记占据物;

计算所述标记占据物在所述第一候选标记区域内的位置数据;

根据所述标记占据物在所述第一候选标记区域内的位置数据确定占据物位置参数。

在本申请的标记位置设定方法中,所述获取占据物位置参数的步骤,包括:

在所述第一候选标记区域内检测器件占据物;

计算所述器件占据物在所述第一候选标记区域内的位置数据;

根据所述器件占据物在所述第一候选标记区域内的位置数据确定占据物位置参数。

在本申请的标记位置设定方法中,所述根据所述占据物位置参数,在所述第一候选标记区域内确定第二候选标记区域的步骤,包括:

根据所述占据物位置参数确定占据物的占据区域;

从所述第一候选标记区域内去除所述占据物的占据区域,得到所述第二候选标记区域。

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