[发明专利]一种扫描电镜教学模型装置及其使用方法

权利要求书

1.一种扫描电镜教学模型装置，其特征在于：包括仿真外壳(1)、电子光路模拟系统(2)和电镜模拟操作系统(3)；所述电子光路模拟系统(2)包括光路显示部分(21)，人机交互液晶显示器(22)和控制系统(23)；所述光路显示部分(21)安装在仿真外壳(1)之内；所述人机交互液晶显示器(22)和控制系统(23)集成安装在一起，布置在仿真外壳(1)之外并与光路显示部分(21)通过导线链接；所述电镜模拟操作系统(3)在仿真外壳(1)之外，通过数据线与电子光路模拟系统(2)相对应；所述电镜模拟操作系统可以显示学生实验课程涉及的所有标准样品的电镜图片；所述仿真外壳(1)的镜筒部分是剖开的，便于显示光路成像过程；所述仿真外壳(1)的样品仓门是透明材质的，便于观察样品移动过程以及样品二次电子成像、背散射电子成像过程；所述人机交互液晶显示器(22)包括亮度按键(221)、颜色按键(222)、光路显示部分按键(223)、二次电子像和背散射电子像选择按键(224)和物镜光阑选择按键(225)，所述光路显示部分按键(223)可以选择光路显示第一次聚焦过程(211)、第二次聚焦过程(212)、聚焦后过程(213)、干涉部分(214)或者反射部分(215)的阶段过程。

2.如权利要求1所述的一种扫描电镜教学模型装置，其特征在于：所述的仿真外壳(1)为3D打印的1:1比例扫描电镜模型，所用材料为树脂材料。

3.如权利要求1所述的一种扫描电镜教学模型装置，其特征在于：所述光路显示部分(21)是用灯珠布置在电子束扫描的路径，有红、绿、蓝三色LED灯珠来描述电子束，3种颜色可以任意单显或组合，出现7种不同的颜色。

4.如权利要求3所述的一种扫描电镜教学模型装置，其特征在于：所述灯珠按照电子束路径固定安装在所述仿真外壳(1)内部。

5.如权利要求1所述的一种扫描电镜教学模型装置，其特征在于：所述光路显示部分(21)可以演示扫描电镜电子束第一次聚焦过程(211)、第二次聚焦过程(212)、聚焦后过程(213)、干涉部分(214)和反射部分(215)的成像过程。

6.如权利要求1所述的一种扫描电镜教学模型装置，其特征在于：所述物镜光阑选择按键(225)可以通过LED灯带的宽窄来表示扫描电镜物镜光阑的大小；所述亮度按键(221)和颜色按键(222)可以配合使用，演示扫描电镜电子束的能量强度。

7.如权利要求1所述的一种扫描电镜教学模型装置，其特征在于：所述电子光路模拟系统(2)和所述电镜模拟操作系统(3)可以配合使用，显示不同材料，选择不同成像模式、电压、电流参数对扫描电镜图像成像质量的影响。

8.如权利要求1所述的一种扫描电镜教学模型装置，其特征在于：所述电子光路模拟系统(2)可使用PLC进行程序控制或通过按钮进行控制；所述电镜模拟操作系统(3)可以与电脑或投影进行连接使用。