[发明专利]具有视觉检测的装卸机器人及应用该机器人的开方机

说明书

本发明公开了具有视觉检测的装卸机器人及应用该机器人的开方机，包括装卸机器人1和视觉检测组件2，所述装卸机器人1用于开方机的上料和下料，用于所述装卸机器人1夹持硅棒上料前进行校核的所述视觉检测组件2安装于装卸机器人1外侧，本发明通在装卸机械手附近增设视觉检测组件，从而使得装卸机器手在夹持硅棒上料时，能够实现每根硅棒都进行一次精度校核，与现有的方棒检测不合格时发现夹爪精度有偏差的方式相比，精准更高，并能长期稳定的保证上料精度不变，而且基本不受夹持件磨损的影响。

技术领域

本发明涉及硅棒加工设备技术领域，具体为具有视觉检测的装卸机器人及应用该机器人的开方机。

背景技术

现有硅片的制作流程，一般是将硅棒(例如硅棒棒或多晶硅棒)通过开方机进行开方，使得硅棒整体呈类矩形；开方完毕后，对硅棒进行磨面、滚圆及抛光等处理；最后，再采用多线切片机对开方后的硅棒进行切片。

传统机械手靠机械精度调整,可以保证每次夹紧硅棒后硅棒的中心位置精度和与机床水平面的垂直度，但在工作当中，与硅棒长期接触的夹持件会磨损严重，需要定期更换夹持件并重新调整夹爪精度，避免不了会浪费人工，减少产能；并且在每次调整之前，夹持精度会不断降低，只有方棒检测不合格时才会发现夹爪精度有偏差，浪费硅料且性能不稳定，为此，我们提出具有视觉检测的装卸机器人及应用该机器人的开方机。

发明内容

本发明的目的在于提供一种提高硅棒上料精准度的具有视觉检测的装卸机器人及应用该机器人的开方机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：具有视觉检测的装卸机器人，包括装卸机器人和视觉检测组件，所述装卸机器人用于开方机的上料和下料，用于所述装卸机器人夹持硅棒上料前进行校核的所述视觉检测组件安装于装卸机器人外侧。

优选的，所述视觉检测组件包括两个外框板，两个所述外框板之间固定有支撑板，且两个外框板之间转动安装有双向螺纹杆，位于上方的所述外框板顶部固定有驱动电机，且驱动电机输出端通过联轴器与双向螺纹杆顶部固定，所述双向螺纹杆两端外侧均安装有用于硅棒拍摄的拍摄机构，通过视觉检测组件实现对硅棒晶线的速度检测和精准检测，减少了人工操作。

优选的，所述拍摄机构包括两个安装板，两个所述安装板内安装有摄像机，且安装板外侧呈矩形形状滑动插接有多个连接杆，多个所述连接杆顶部固定有接触板，且多个连接杆底部固定有限位块，所述连接杆外侧套有与接触板和安装板相抵的挤压弹簧，所述支撑板内开有限位口，所述安装板外侧固定有与限位口滑动连接的连接板，所述双向螺纹杆外侧螺纹套接有移动板，且移动板外侧与连接板固定，两个所述连接板表面固定有支撑座，且两个支撑座上安装有清洁件，通过拍摄机构实现硅棒两端的拍摄。

优选的，所述清洁件包括转动插接在两个支撑板上的连接轴，两个所述连接轴外侧固定有调节轮，且连接轴中间外侧固定有调节齿轮，所述支撑板顶部和底部外侧均固定有多个与调节齿轮相互啮合的齿块，所述接触板两端均固定有清洁框，且清洁框内固定有轨道杆，所述接触板外侧设有清洁板，且清洁板两端伸入两个清洁框内，并与轨道杆滑动连接，所述清洁板外侧固定有调节绳，且调节绳一端滑动贯穿清洁框侧壁，并与调节轮外侧固定，所述清洁框底部外侧固定有弹性绳，且清洁框顶端外侧固定有转向件，所述弹性绳一端绕在转向件外侧，另一端滑动贯穿清洁框，并与清洁板外侧固定，通过清洁件实现对接触板上杂质的去除。

优选的，所述转向件包括固定在清洁框外端外侧的转向板，所述转向板内转动安装有两个转向柱，且弹性绳套在两个转向柱外侧，通过转向件实现对弹性绳的180°转向，同时减少摩擦力。

优选的，所述调节轮外侧开有收纳槽，且调节绳固定在收纳槽内，收纳槽方便对调节绳的收纳，使得调节绳在缠绕时，更加稳定。