[发明专利]流体输送系统的致动器

说明书

一种设备，包括储存器和打印头。打印头包括支撑结构，其包括可变形部分，可变形部分至少限定泵送腔的顶部表面；流动路径，其从储存器延伸到泵送室，用于将流体从储存器输送到泵送室；以及致动器，其设置在支撑结构的可变形部分上。沟槽限定在致动器的顶部表面中。向致动器施加电压引起致动器沿着所述沟槽变形，从而引起支撑结构的可变形部分变形，以便从泵送室喷射流体液滴。

本申请是中国发明专利申请(申请号：201780078592.0，申请日：2017年12月18日，发明名称：流体输送系统的致动器)的分案申请。

优先权声明

本申请要求2016年12月19日提交的美国临时申请No.62/436,276的优先权，其全部内容通过引用并入于此。

技术领域

本说明书涉及流体输送系统的致动器。

背景技术

喷墨打印可使用包括多个喷嘴的喷墨打印头进行。墨水被引导至喷墨打印头，并且当被启用时，喷嘴喷射墨水液滴在基底上形成图案。打印头可以包括具有可变形致动器的流体输送系统，用于从打印头的泵送室喷射流体。致动器可以变形以改变泵送室的体积。当致动器被驱动时，体积的改变可引起流体从流体输送系统喷射。当变形时，致动器会经受材料应力。

发明内容

在一方面，打印头包括支撑结构，其包括可变形部分，该可变形部分至少限定泵送室的顶部表面；和致动器，其设置在支撑结构的可变形部分上，其中沟槽限定在致动器的顶部表面中。

实施例可以包括一个或多个以下特征。

向致动器施加电压引起致动器沿着所述沟槽变形，从而引起可变形部分的变形，以便从泵送室喷射流体液滴。

致动器包括第一和第二电极以及在第一和第二电极之间的压电层，并且打印头包括控制器，用于向第一和第二电极之一施加电压以使可变形部分变形。

控制器配置成将电压施加到第一和第二电极中的一个，使得可变形部分远离泵送室变形。

沟槽远离致动器顶部表面的中央区域径向向外延伸。

打印头包括多个径向沟槽，每个径向沟槽远离致动器的顶部表面的中央区域径向向外延伸。

每个所述径向沟槽在所述径向沟槽与所述沟槽相交的点处垂直于所述沟槽取向。

所述沟槽与可变形部分的周边之间的距离大于所述沟槽与可变形部分的顶部表面的中央区域之间的距离。

所述沟槽与可变形部分的周边之间的距离小于所述沟槽与可变形部分的顶部表面的中央区域之间的距离。

沟槽和支撑结构的可变形部分的周边之间的距离是可变形部分的中央与可变形部分的周边之间的距离的20％至80％。

所述沟槽沿致动器的顶部表面延伸，使得沟槽从可变形部分的周边向内偏移。

所述沟槽限定从可变形部分的周边的一部分向内偏移的环的至少一部分。

所述沟槽是第一沟槽，并且还包括限定在致动器的顶部表面中的第二沟槽，第二沟槽从第一沟槽径向向外延伸。

第二沟槽的第一端连接到第一沟槽，并且第二沟槽的第二端连接到限定在致动器的顶部表面中的第三沟槽，其中第三沟槽具有圆形形状。

所述沟槽的宽度为0.1微米至10微米。

所述沟槽限定具有第一端和第二端的曲线，曲线从可变形部分的周边的一部分向内偏移。

所述沟槽从致动器的顶部表面延伸穿过致动器的厚度到达支撑结构的可变形部分的顶部表面。

可变形部分包括氧化物层，且所述沟槽延伸到氧化物层的顶部表面。