[发明专利]一种光纤端面集成微纳结构的加工方法

权利要求书

1.一种光纤端面集成微纳结构的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

安装，将待加工光纤安放到光纤适配器上，获得待加工件；

旋涂，通过旋涂载纤装置将所述待加工件固定到匀胶机处，由所述匀胶机将电子束抗蚀剂旋涂到所述待加工光纤的待加工端上，获得旋涂光纤件；

刻蚀，通过刻蚀载纤装置将所述旋涂光纤件固定到刻蚀装置处，所述刻蚀装置可发出电子束，由所述刻蚀装置发出的电子束对所述旋涂光纤件的待加工端进行刻蚀加工，获得刻蚀光纤件；

镀膜，对所述刻蚀光纤件中已刻蚀的光纤显影处理后，通过镀膜载纤装置将显影后的刻蚀光纤固定到镀膜装置处，通过所述镀膜装置对显影后的刻蚀光纤件的待加工端进行镀膜加工；

或

安装，将待加工光纤安放到镀膜载纤装置上；

镀膜，通过镀膜载纤装置将待加工光纤固定到镀膜装置处，通过所述镀膜装置对待加工件中光纤的待加工端进行镀膜加工，获得镀膜光纤；

刻蚀，将镀膜光纤的待加工端连接到光纤适配器上，然后将光纤适配器连同镀膜光纤放置在刻蚀载纤装置上，通过刻蚀载纤装置将所述镀膜光纤固定到刻蚀装置处，所述刻蚀装置可发出离子束，由所述刻蚀装置发出的离子束对所述镀膜光纤的待加工端进行刻蚀加工，获得具有集成微纳结构的功能光纤；

所述的旋涂载纤装置包括有旋转载纤底座，所述旋转载纤底座包括有下端与所述匀胶机连接的连接部、中部用于支撑的支撑部和上端用于装载所述待加工件的装载部；

所述刻蚀载纤装置包括有光纤搭载底座，所述光纤搭载底座包括有下端与所述刻蚀装置配合的燕尾槽，以及上端用于装载所述待加工件的搭载部；

所述镀膜载纤装置包括有下端与所述镀膜装置连接的结合部，以及上端可安放至少一个所述待加工光纤的安放部。

2.根据权利要求1所述的光纤端面集成微纳结构的加工方法，其特征在于，所述待加工光纤的一端为具有标准单模或多模光纤连接器的可集成微纳结构的待加工端，另一端为光纤尾纤。

3.根据权利要求1所述的光纤端面集成微纳结构的加工方法，其特征在于，所述支撑部的截面大于所述连接部和所述装载部的截面。

4.根据权利要求1所述的光纤端面集成微纳结构的加工方法，其特征在于，所述装载部为中空的筒壁结构，所述待加工件可放置在所述筒壁结构内。

5.根据权利要求1所述的光纤端面集成微纳结构的加工方法，其特征在于，所述装载部上设置有可穿设所述待加工光纤的光纤尾纤的装载孔。

6.根据权利要求1所述的光纤端面集成微纳结构的加工方法，其特征在于，所述搭载部为中空的筒壁结构，所述待加工件可放置在所述筒壁结构内。

7.根据权利要求1所述的光纤端面集成微纳结构的加工方法，其特征在于，所述搭载部上设置有可穿设所述待加工光纤的光纤尾纤的搭载孔。