[发明专利]一种超小模体积回音壁模式微腔器件

权利要求书

1.一种超小模体积回音壁模式微腔器件，其特征在于，包括用于产生回音壁模式的微盘腔(1)以及用于抑制微盘腔(1)弯曲损耗的同心环(2)，若干所述同心环(2)设于所述微盘腔(1)的外周且若干所述同心环(2)与所述微盘腔(1)同心设置；还包括用于连接微盘腔(1)和同心环(2)的连接桥(3)；还包括支撑部(4)，所述连接桥(3)的一端连接于微盘腔(1)的外壁，所述连接桥(3)的另一端与支撑部(4)固定连接，所述微盘腔(1)与所述支撑部(4)之间留有间隙；若干所述连接桥(3)的一端均匀分布于微盘腔(1)的外壁，且若干所述连接桥(3)的一端的延长线相交于所述同心环(2)的圆心；所述连接桥(3)的数目与回音壁模式WGM模式瓣数相等，所述连接桥(3)使得微盘腔(1)内的顺时针和逆时针模式退简为对称模式和反对称模式，在对其中一种模式进行增强时，另一种模式得到抑制。

2.根据权利要求1所述的超小模体积回音壁模式微腔器件，其特征在于，制备所述同心环(2)、连接桥(3)及微盘腔(1)的原材料为同一原材料。

3.根据权利要求1所述的超小模体积回音壁模式微腔器件，其特征在于，所述连接桥(3)的厚度尺寸小于所述同心环(2)的厚度尺寸。

4.根据权利要求1所述的超小模体积回音壁模式微腔器件，其特征在于，所述微盘腔(1)的大小根据需要匹配的波长和模式调整，以使得需要增强的波长和模式在所述微盘腔(1)内谐振。

5.根据权利要求1所述的超小模体积回音壁模式微腔器件，其特征在于，所述同心环(2)的位置和宽度尺寸根据微盘腔(1)泄露的模式确定：利用有限元方案数值求解Maxwell方程组，从微盘腔(1)开始，自内向外逐层扫描增加同心环(2)的参数，寻找最优的品质因子，确定品质因子处于最优时的同心环(2)的位置和宽度。

6.根据权利要求5所述的超小模体积回音壁模式微腔器件，其特征在于，相邻所述同心环(2)之间的间距相等。