[发明专利]一种旋转靶材的制备方法

权利要求书

1.一种旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）将背管放入涂有脱模剂的模具中，密封后将模具放入到炉膛中，排除空气后对炉膛进行加热保温；加热保温的方式为：加热的升温速率为3-5℃/min，加热至220-300℃，保温5-10min；其中，模具为环形状，模具的上下管中心位置具有固定圆弧凸起，模具底座设置一个加热盘；背管外壁与模具内部间有设定的间隙；炉膛自下而上每间隔20-30cm设置加热区，每个加热区设定一个热电偶；

其中，背管的表面粗糙度为8-15μm，背管喷砂层的圆跳动检测值＜0.8mm，背管的真空密封性检测值＜1×10^-7 SCCS，背管其中一侧密封完全，背管距离端部一侧8-15cm处的内壁，用圆片焊接密封完全；

（2）将金属锭子加热熔化后，沿着模具上的浇注口管道注入到模具中，保温一段时间后，首先关闭底部加热盘，冷却至金属锭子熔点以下20-30℃，按照此规律再依次自下而上冷却，直至完全冷却至室温；所述金属锭子为铟锭、锡锭中的至少一种，所述锭子符合Rohs2.0环保要求；

（3）打开模具，将靶材取出后进行加工，得到所述旋转靶材。

2.如权利要求1所述的旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，背管的表面粗糙度为12μm。

3.如权利要求1所述的旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，排除空气的方式为：以2-3L/min的速率通入惰性气体，通入的时间为30-60min。

4.如权利要求1所述的旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，加热至250-300℃。

5.如权利要求1所述的旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，金属锭子加热熔化的温度为210-260℃，保温的时间为5-15mim。

6.如权利要求1所述的旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（3）中，加工的包含预加工、检测和机械加工；预加工的方式为：使用车床进行预加工；检测的方式为：运用超声波扫描仪进行靶材的内部缺陷和焊合率检测；机械加工的方式为：按照安装图纸进行机械加工，得到所述旋转靶材。

7.一种如权利要求1-6任一项所述的旋转靶材的制备方法制备得到的旋转靶材。

8.如权利要求7所述的旋转靶材，其特征在于，所述旋转靶材的密度＞99%，焊合率≥95%，平均晶粒尺寸＜800μm，靶材氧含量＜200ppm。