[发明专利]一种防护装置、其制造方法及驱逐微生物的方法

权利要求书

1.一种防护装置的制造方法，其特征在于，所述防护装置用于驱逐海水中的光学窗口表面的微生物，所述防护装置用于盖设在光学窗口上，所述防护装置包括玻璃基材、第一功能层及第二功能层，其中：

高透光的所述玻璃基材用于支撑所述第一功能层及所述第二功能层；

所述第一功能层均匀涂覆在所述玻璃基材表面，所述第一功能层为高透光材料，所述第一功能层为压电材料，所述压电材料为氮化镓材料；

所述第二功能层设置在所述第一功能层远离所述玻璃基材的表面，所述第二功能层为叉指电极；

所述第二功能层用于接收来自所述光学窗口的激发信号，所述激发信号包括电压信号和紫外光，并在接收到所述激发信号后，所述第一功能层和所述第二功能层驱逐附着的微生物；

所述叉指电极接收到所述电压信号后，所述叉指电极将电压施加至所述压电材料，所述压电材料产生机械振动并释放声波，进而驱逐附着的微生物；所述紫外光透过所述氮化镓材料向所述光学窗口外投射，进而驱逐附着的微生物；所述制造方法包括如下步骤：

步骤1：利用酸、碱或双氧水浸泡玻片，或用氧离子体轰击所述玻片，使玻片亲水化，亲水化后的所述玻片作为玻璃基材；

步骤2：在所述玻璃基材的表面沉积或旋涂压电材料形成所述第一功能层；所述压电材料为氮化镓，所述压电材料采用有机金属化学气相沉积法沉积在所述玻璃基材的表面形成所述第一功能层；

步骤3：利用光刻技术在所述第一功能层表面制作电极：在所述第一功能层表面甩光刻胶并固化处理，曝光电极图案后用显影液浸泡清洗，镀金后制得所述叉指电极；

步骤4：溶解所述光刻胶，制得所述防护装置。

2.一种驱逐微生物的方法，其特征在于，海水中的光学窗口上盖设有防护装置，所述微生物附着在所述防护装置的表面，所述防护装置包括玻璃基材、第一功能层及第二功能层，其中：

高透光的所述玻璃基材用于支撑所述第一功能层及所述第二功能层；

所述第一功能层均匀涂覆在所述玻璃基材表面，所述第一功能层为高透光材料，所述第一功能层为压电材料，所述压电材料为氮化镓材料；

所述第二功能层设置在所述第一功能层远离所述玻璃基材的表面，所述第二功能层为叉指电极；

所述光学窗口向所述防护装置发出激发信号，所述第二功能层用于接收来自所述光学窗口的激发信号，所述激发信号包括电压信号和紫外光，

所述叉指电极接收到所述电压 信号后，所述叉指电极将电压施加至所述压电材料，所述压电材料产生机械振动并释放声波，进而驱逐附着的微生物；所述紫外光透过所述氮化镓材料向所述光学窗口外投射，进而驱逐附着的微生物。