[发明专利]石墨烯贴片型太赫兹法布里-珀罗谐振天线及其实现方法

权利要求书

1.一种基于金属-石墨烯混合结构的太赫兹窄波束法布里-珀罗谐振天线，其特征在于，包括：由上而下依次设置的固定夹具、法布里-珀罗谐振结构以及加脊馈源喇叭，其中：固定夹具与加脊馈源喇叭相连，法布里-珀罗谐振结构固定设置于加脊馈源喇叭上方并与加脊馈源喇叭的金属上表面共同构成法布里-珀罗谐振腔，加脊馈源喇叭辐射出的电磁波在法布里-珀罗谐振结构中振荡并经调控后在主方向形成所需要的窄波束电磁辐射；

所述的固定夹具为中空圆柱体结构，固定夹具内部设有多边形几何空腔以容纳法布里-珀罗谐振结构，该固定夹具为聚乳酸使用3D打印技术加工制成；

所述的法布里-珀罗谐振结构包括：依次位于介质层上的金属图案和石墨烯图案，其中：石墨烯图案和金属图案具有导电性并形成反射面以实现对电磁波的部分反射，其中：介质层不具有导电性，其用于分割①部分反射面与②作为金属反射面的加脊馈源喇叭上表面；

所述的金属图案使用电子束蒸发工艺在基片上蒸镀得到；

所述的加脊馈源喇叭包括：喇叭主体、分别设置于喇叭主体两端的金属脊和波导口，其中：喇叭主体的上方为金属上表面，金属脊位于喇叭主体靠近法布里-珀罗谐振结构一侧，用于外部连接馈电的波导口位于喇叭底部远离法布里-珀罗谐振结构一侧。

2.根据权利要求1所述的基于金属-石墨烯混合结构的太赫兹窄波束法布里-珀罗谐振天线，其特征是，所述的法布里-珀罗谐振结构，通过金属-石墨烯混合结构工艺实现，包括以下步骤：

步骤1、在耐受1000℃的高温工艺的基片上旋涂光刻胶并烘干，从而得到完整的均匀光刻胶层；

步骤2、将掩模版放置于覆有完整均匀光刻胶层的基片上，进行曝光、显影和刻蚀操作，形成图形化的光刻胶图层；

步骤3、使用电子束蒸发工艺在基片上蒸镀一层均匀的镍或铜；

步骤4、将基片放入光刻胶溶剂中，去除图形化的光刻胶，从而得到图形化的金属膜；

步骤5、将基片放入管式反应炉中，使用化学气相沉积方法在图形化的金属膜上生长图形化的石墨烯，最终得到加载石墨烯的贴片结构。