[发明专利]一种利用双金属催化剂制备纤锌矿结构硅纳米线的方法有效
| 申请号： | 202110647681.0 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113443631B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 李东升;范琳琳;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027;C01B33/113;B82Y40/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 高佳逸;胡红娟 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 双金属 催化剂 制备 锌矿 结构 纳米 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种利用双金属催化剂制备纤锌矿结构硅纳米线的方法，其特征在于，包括步骤：
（1）以干净的硅片为衬底，采用真空热蒸发镀膜方法在所述衬底上蒸镀两种金属催化剂，形成厚度为2~10 nm的双金属催化剂；
所述两种金属催化剂为铝和金；
（2）惰性气体环境中，将步骤（1）蒸镀后的衬底加热至其上的双金属催化剂熔融产生液相，SiO蒸气在惰性气体的运输下在加热的衬底上持续反应沉积形成纤锌矿结构硅纳米线。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（1）中，铝和金组成的双金属催化剂中，铝的原子占比为5%~90%。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（1）中，先蒸镀两种金属催化剂中相对易氧化的金属催化剂，再蒸镀另一种金属催化剂。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（2）中，惰性气体环境气压小于10000mTorr。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（2）中，SiO蒸气通过将SiO加热至700℃以上产生。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（2）中，惰性气体为氮气、稀有气体中的至少一种。
7.根据权利要求1~6任一权利要求所述的方法制备得到的纤锌矿结构硅纳米线。
8.根据权利要求7所述的纤锌矿结构硅纳米线，其特征在于，所述纤锌矿结构硅纳米线包括单晶态纤锌矿结构的硅核以及包裹在硅核表面的非晶硅氧化合物。
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