[发明专利]一种准分子激光器布窗结构

权利要求书

1.一种准分子激光器布窗结构，其特征在于，包括：本体(10)和窗片组件(20)；

所述窗片组件(20)包括安装座(22)、镜片(21)和压块(23)；

所述安装座(22)内设置有安装槽，所述镜片(21)嵌装在安装槽内，利用压块(23)压固；

所述本体(10)上设置有用于激光通过的通道(10a)；所述本体(10)包括窗体(11)和压固块(12)；

所述窗片组件(20)布设在本体(10)的通道(10a)上，且被所述窗体(11)和所述压固块(12)夹持固定。

2.根据权利要求1所述的准分子激光器布窗结构，其特征在于，所述安装座(22)与所述镜片(21)之间设置有密封垫圈(26)；和/或，所述压块(23)与所述镜片(21)之间设置有密封垫圈(26)。

3.根据权利要求1所述的准分子激光器布窗结构，其特征在于，所述窗体(11)与所述安装座(22)之间设置有第一密封垫圈(13)；和/或，所述压固块(12)与所述安装座(22)之间设置有第二密封垫圈(14)。

4.根据权利要求1所述的准分子激光器布窗结构，其特征在于，所述安装座(22)与所述压块(23)通过多个紧固螺钉(24)固定连接，多个紧固螺钉(24)在所述镜片(21)的周向上均匀布设；

所述窗片组件(20)组装时，采用力矩扳手旋紧紧固螺钉(24)，保证多个紧固螺钉(24)预紧力相同；后利用干涉仪进行镜片(21)面型检测，若镜片(21)面型变化超过规定值，则调整一个或若干个紧固螺钉(24)的预紧力直至镜片(21)面型合格。

5.根据权利要求1所述的准分子激光器布窗结构，其特征在于，所述窗体(11)或所述压固块(12)上设置有安装沉台(12a)，所述安装座(22)嵌装在所述安装沉台(12a)内。

6.根据权利要求5所述的准分子激光器布窗结构，其特征在于，所述安装沉台(12a)为圆锥台形孔；所述安装座(22)外侧面为与所述圆锥台形孔配合的锥台型工作面。

7.根据权利要求1所述的准分子激光器布窗结构，其特征在于，所述安装座(22)和压块(23)构成一个用于固定所述镜片(21)的安装架(25)；所述窗体(11)下底面上设置有上环槽(15)，上环槽(15)内设置有由弹性材料制成的上环形袋(17)，上环形袋(17)与冷却介质源连接，上环形袋(17)在冷却介质的压力作用下向上环槽(15)外鼓起，并抵靠在所述安装架(25)的上端面上，用于对安装架(25)顶部进行冷却。

8.根据权利要求7所述的准分子激光器布窗结构，其特征在于，所述压固块(12)顶面上设置有下环槽(16)，下环槽(16)内设置有由弹性材料制成的下环形袋(18)，下环形袋(18)与冷却介质源连接，下环形袋(18)在冷却介质的压力作用下向下环槽(16)外鼓起，并抵靠在所述安装架(25)的下端面上，用于对安装架(25)底部进行冷却。

9.根据权利要求8所述的准分子激光器布窗结构，其特征在于，所述上环形袋(17)和下环形袋(18)的冷却介质进口分别通过第一供给支管(17a)和第二供给支管(18a)与冷却介质源的供给管路(60)连接；所述上环形袋(17)和下环形袋(18)的的冷却介质出口分别通过第一回收支管(17b)和第二回收支管(18b)与冷却介质源的回收管路(61)连接。

10.根据权利要求9所述的准分子激光器布窗结构，其特征在于，所述第一回收支管(17b)上设置有第一温控阀，第一温控阀包括第一阀体和第一温度探头；所述第一温度探头设置在所述窗体(11)内的所述通道(10a)内，用于感知窗体(11)内的所述通道(10a)内的温度；所述第一阀体的流量大小调节与第一温度探头感知的所述通道(10a)内温度正相关。