[发明专利]一种基于磁悬浮技术的基座在审
申请号: | 202110649307.4 | 申请日: | 2021-06-10 |
公开(公告)号: | CN113339450A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 商富彬 | 申请(专利权)人: | 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司 |
主分类号: | F16F15/04 | 分类号: | F16F15/04;F16F15/03;F16F15/06 |
代理公司: | 盐城创佳智科专利代理事务所(普通合伙) 32476 | 代理人: | 乔岳标 |
地址: | 224100 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 磁悬浮 技术 基座 | ||
本发明提供一种基于磁悬浮技术的基座,包括:上安装分座,其上端面用于安装工作机器,其下端面固接有铁芯;铁芯,呈E形结构,且所述铁芯倒扣固定于所述上安装分座的下表面中央,所述铁芯上缠绕有通电线圈;下固定分座,位于所述上安装分座的正下方,所述消震动力块的上表面固定设置有互斥铁块,所述互斥铁块位于所述铁芯的正下方;消震弹簧,所述套杆的外周面套设有第一弹簧、第二弹簧,所述第一弹簧位于所述消震动力块的上部,所述第二弹簧位于所述消震动力块的下部。本发明提供的一种基于磁悬浮技术的基座,可以保证一定的承载能力和减震稳定性,对于超出其静态刚度范围内的震动,也能保证其减震效果。
技术领域
本发明涉及安装基座技术领域,特别是涉及一种基于磁悬浮技术的基座。
背景技术
在半导体产品的生产工艺中,有害震动一直是影响产品质量的重要因素。为消除这一有害影响,传统的隔振技术是在结构之间加入弹性减震元件,使二者产生阻抗,减少震动的传递,比如常见的弹簧。然而弹性减震元件只能在限定的范围内能够有效减震,弹簧既需要有足够低的刚度,但为了保证一定的承载能力和减震稳定性,又需要较大的静态刚度,而且对于超出其静态刚度范围内的震动,无法保证其减震效果。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于磁悬浮技术的基座,以解决上述问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种基于磁悬浮技术的基座,包括:
上安装分座,其上端面用于安装工作机器,其下端面固接有铁芯;
铁芯,呈E形结构,且所述铁芯倒扣固定于所述上安装分座的下表面中央,所述铁芯上缠绕有通电线圈;
下固定分座,位于所述上安装分座的正下方,所述下固定分座的上表面固定设置有套杆;
消震动力块,套接在所述套杆上,所述消震动力块的上表面固定设置有互斥铁块,所述互斥铁块位于所述铁芯的正下方;
消震弹簧,所述套杆的外周面套设有第一弹簧、第二弹簧,所述第一弹簧位于所述消震动力块的上部,所述第二弹簧位于所述消震动力块的下部。
作为本发明的一种改进,所述上安装分座和下固定分座均为圆盘状结构。
作为本发明的一种改进,所述下固定分座的上表面一体成型有环形防护罩壳,所述环形防护罩壳将所述铁芯、消震动力块包纳其中。
作为本发明的一种改进,所述套杆的上端设置有限位螺母,所述第一弹簧的一端与所述限位螺母下端面抵接,另一端与所述消震动力块上端面抵接。
作为本发明的一种改进,所述环形防护罩壳的高度为所述上安装分座与下固定分座间距总长的五分之四
本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
下面通过附图和实施例,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
图1为本发明的内部剖视图;
图2为本发明的结构示意图。
图中各构件为:
1、上安装分座,
2、铁芯,
3、通电线圈,
4、下固定分座,41、环形防护罩壳,
5、套杆,
6、消震动力块,
7、互斥铁块,
8、消震弹簧,81、第一弹簧,82、第二弹簧,
9、限位螺母。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。
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