[发明专利]一种微型位移传感器敏感元件波导丝的制备方法

权利要求书

1.一种微型位移传感器敏感元件波导丝的制备方法，其特征在于，具体步骤为：

1）制备波导丝的磁致伸缩材料配方为(Fe_0.82Co_0.18)_x-(Tb_0.4Mn_0.6)_y-Ga_(1-x-y)，0.40≤x≤0.75，0.20≤y≤0.5，0.05≤1-x-y；

2）按摩尔比称取原料Fe、Co、Tb、Mn、Ga单质，混匀，置于电弧熔炼炉的坩锅内，再于另一坩锅内加入Zr单质；关闭电弧熔炼炉，抽真空到10^-6Pa以下，充氩气到0.5-0.6个大气压；启动真空电弧熔炼炉，起弧后加电流至260-280A，并启动搅拌器，先熔炼Zr以除氧；再熔炼混合原料，每次熔炼5-15min，反复熔炼2-3次，熔炼结束后，慢慢调小电流至关闭电源，放置10-30min 后，取出样品，得合金铸锭；

3）将样品轻轻敲碎放入石英玻璃管中抽真空封存，然后放入到高温炉中从室温加热到1300-1500℃，然后施加4-5T的磁场，保温10-30min，再以1.2-1.5℃的速率降到900-1000℃，撤去磁场，自然冷却到室温，取出合金样品；再在低温炉中以900-1000℃退火60-90h，浇铸到模具中，制成合金棒材；

4）取合金棒材，进行热轧处理和打磨，然后消除表面氧化皮，在拉丝机上进行冷拔，得合金丝；

5）在氩气保护下，进一步对合金丝进行热处理，得到波导丝。

2.根据权利要求1所述的微型位移传感器敏感元件波导丝的制备方法，其特征在于，步骤4）中，热轧前用50kg的空气锤反复锻造，再热轧成条。

3.根据权利要求2所述的微型位移传感器敏感元件波导丝的制备方法，其特征在于，步骤4）中，打磨时经1-5号金相砂纸依次打磨后，再经2.5微米和0.5微米两道抛光。

4.根据权利要求3所述的微型位移传感器敏感元件波导丝的制备方法，其特征在于，步骤4）中，打磨、抛光后，再用4%硝酸酒精腐蚀处理。

5.根据权利要求1-4任一所述制备方法制得的微型位移传感器敏感元件波导丝或磁致伸缩材料。