[发明专利]半导体刻蚀设备的电源柜

权利要求书

1.一种半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于包括柜体和配电系统，所述配电系统包括设置在所述柜体内部腔室中的总进线断路器和其他功能模块；

所述柜体上设置有可打开关闭所述腔室的柜门，所述柜门包括可双向打开的第一门体和第二门体，所述第一门体和第二门体上分别对应设置有第一门锁和第二门锁，以及，所述第一门体上还设置有总进线断路器操作机构，所述总进线断路器操作机构与所述总进线断路器连接,并至少用于闭合或断开所述总进线断路器,并且，所述第一门锁还分别经所述总进线断路器操作机构的金属连杆、第一门体的折边与所述总进线断路器、第二门锁机械连锁，当所述总进线断路器被断开及所述第二门锁处于被解锁的状态时，所述第一门锁处于能够被解锁的状态。

2.根据权利要求1所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述柜体内部的腔室中还设置有防护板，所述配电系统所包含的多个功能模块设置在所述防护板与柜体之间，其中，与所述功能模块连接的操控按钮设置在所述防护板背对功能模块的一侧，或者，与所述功能模块连接的操控按钮暴露于所述防护板背对功能模块的一侧。

3.根据权利要求2所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述腔室被分隔为背对设置的第一腔室和第二腔室，所述柜体上设置有分别可打开关闭所述第一腔室、第二腔室的第一柜门和第二柜门，其中，所述总进线断路器设置在所述第一腔室内，所述总进线断路器操作机构设置在所述第一柜门的第一门体上；

和/或，所述第二柜门为双开门结构；优选的，所述防护板为透明的防护板。

4.根据权利要求2所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述第一腔室内还设置有第一安装板，所述第一安装板分为上安装板和下安装板，所述第二腔室内还设置有第二安装板，所述多个功能模块分别对应安装在所述第一安装板和第二安装板上，其中，安装在所述第一安装板上的功能模块均为强电模块，设置在所述第二安装板上的功能模块包括强电模块和弱电模块；

优选的，所述功能模块被限定在所述第一安装板、第二安装板与防护板之间。

5.根据权利要求3所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述功能模块包括断路器、零序互感器、接触器、三相铜排、零排、PE排、铜排绝缘子、漏电保护模块、电源回路端子排、控制回路端子排、时间继电器、直流电源、烟雾传感器、安全继电器、变压器。

6.根据权利要求3所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述柜体包括相对设置的顶板、底板以及相对设置的两个侧板，所述顶板、底板以及两个侧板连接并围合形成所述的腔室，其中，所述第一柜门和第二柜门与所述侧板活动连接；

优选的，所述第一柜门和第二柜门背对设置；

优选的，所述第一柜门上还设置有与柜体内部功能模块连接的多个指示灯。

7.根据权利要求5所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述顶板的外部还设置有多个电缆进出线接头，所述多个电缆进出线接头分别与所述配电系统所包含的多个功能模块电连接。

8.根据权利要求5所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述顶板的外部还固定设置有绝缘垫板，所述绝缘垫板上设置有与所述腔室连通的过线塞；

优选的，所述过线塞为塔形结构。

9.根据权利要求5所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述柜体还设置有进风口和出风口，所述柜体内部的腔室经所述进风口、出风口与外部环境连通，并在所述进风口、腔室和出风口之间形成可供气流流通的散热通道。

10.根据权利要求9所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述进风口设置在所述侧板靠近底板的下部区域，所述出风口设置在所述顶板上；

优选的，所述进风口处还设置有过滤窗，所述出风口处设置有散热风扇。