[发明专利]α粒子发射率测试方法在审
申请号: | 202110654904.6 | 申请日: | 2021-06-11 |
公开(公告)号: | CN113568031A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 张战刚;陈资文;雷志锋;黄云;罗俊洋;彭超;何玉娟;肖庆中;李键坷;路国光 | 申请(专利权)人: | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) |
主分类号: | G01T1/36 | 分类号: | G01T1/36 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 郭凤杰 |
地址: | 511300 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粒子 发射 测试 方法 | ||
1.一种α粒子发射率测试方法,其特征在于,包括:
获取测试样品;
对测试设备的背底噪声进行调试,使得所述测试设备的α粒子发射率小于设定值;
利用完成调试的所述测试设备对所述测试样品进行α粒子发射率测试,并对测试到的α粒子进行计数;
当所述α粒子的计数达到目标计数时结束测试,并获取测试数据;
对所述测试数据进行分析和处理。
2.根据权利要求1所述的α粒子发射率测试方法,其特征在于,所述测试设备包括样品托盘,所述对测试设备的背底噪声进行调试,使得所述测试设备的α粒子发射率小于设定值包括:
对所述样品托盘进行α粒子发射率背底测试,获取所述样品托盘的α粒子发射率;
将所述样品托盘的α粒子发射率与所述设定值进行比较;
若所述样品托盘的α粒子发射率小于所述设定值,则结束对测试设备的背底噪声的调试操作;
若所述样品托盘的α粒子发射率大于等于所述设定值,则对所述样品托盘进行降噪处理,直至所述样品托盘的α粒子发射率小于所述设定值。
3.根据权利要求2所述的α粒子发射率测试方法,其特征在于,所述对所述测试设备的样品托盘进行α粒子发射率背底测试,获取所述样品托盘的α粒子发射率包括:
获取对所述样品托盘进行α粒子发射率背底测试时的粒子计数和测试时间,并获取所述样品托盘的表面积;
根据所述样品托盘的表面积、对所述样品托盘进行α粒子发射率背底测试时的粒子计数和测试时间,获取所述样品托盘的α粒子发射率。
4.根据权利要求3所述的α粒子发射率测试方法,其特征在于,所述根据所述样品托盘的表面积、对所述样品托盘进行α粒子发射率背底测试时的粒子计数和测试时间,获取所述样品托盘的α粒子发射率包括:
根据表达式计算所述样品托盘的α粒子发射率;
式中,Rt为所述样品托盘的α粒子发射率,单位为/cm2/hr,N0为对所述样品托盘进行α粒子发射率背底测试时的粒子计数,T0为对所述样品托盘进行α粒子发射率背底测试时的测试时间,单位为hr,St为所述样品托盘的表面积,单位为cm2。
5.根据权利要求1或2所述的α粒子发射率测试方法,其特征在于,所述测试数据包括粒子计数、α粒子发射能谱。
6.根据权利要求5所述的α粒子发射率测试方法,其特征在于,所述对所述测试数据进行分析和处理包括:
甄别所述α粒子发射率测试中得到的所述α粒子的发射源,确定所述发射源为所述测试样品的粒子计数;
获取所述测试样品的表面积、所述测试样品在α粒子发射率测试中的粒子计数和测试时间;
根据所述测试样品的表面积、所述测试样品在α粒子发射率测试中的粒子计数和测试时间,获取所述测试样品的α粒子发射率;
根据测量得到的所述测试样品的α粒子发射能谱,判断所述测试样品的材料内部的α粒子放射源。
7.根据权利要求6所述的α粒子发射率测试方法,其特征在于,所述根据所述测试样品的表面积、所述测试样品在α粒子发射率测试中的粒子计数和测试时间,获取所述测试样品的α粒子发射率包括:
根据表达式计算所述测试样品的α粒子发射率;
式中,Rs为所述测试样品的α粒子发射率,单位为/cm2/hr,N1为所述测试样品在α粒子发射率测试中的粒子计数,T1为对所述测试样品在α粒子发射率测试中的测试时间,单位为hr,Ss为所述测试样品的表面积,单位为cm2。
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