[发明专利]非离子型缓蚀剂的制备方法及非离子型缓蚀剂

权利要求书

1.一种非离子型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述非离子型缓蚀剂的制备方法包括：

使水与氢氧化钠混合均匀，然后再与氯代甲氧基脂肪酸类甲酯混合，在60℃-70℃的温度下搅拌反应，得到第一反应混合物；

将所述第一反应混合物中的水相分离出去，然后向反应体系中加入乳化剂和多胺类化合物，在搅拌条件和通入氮气的条件下，使反应体系于160℃-180℃的温度下反应，得到第二反应混合物；

从所述第二反应混合物中分离出甲醇，然后升温至200℃-270℃，在保持抽真空脱水的情况下反应，得到羟烷基咪唑啉化合物；

向所述羟烷基咪唑啉化合物中加入分离出的甲醇和水，并补加额外的水，得到所述非离子型缓蚀剂；

其中，所述氯代甲氧基脂肪酸类甲酯的化学结构式如下所示：

m和n均为大于1的整数。

2.根据权利要求1所述的非离子型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述氯代甲氧基脂肪酸类甲酯选自氯代甲氧基棕榈酸甲酯、氯代甲氧基月桂酸甲酯、氯代甲氧基豆蔻酸甲酯、氯代甲氧基环烷酸甲酯中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的非离子型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述多胺类化合物选自β-羟乙基乙二胺、二乙烯三胺、三乙烯四胺中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的非离子型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，在得到所述第一反应混合物时，使反应体系在200转/分钟-400转/分钟的搅拌速度下进行所述搅拌反应。

5.根据权利要求1所述的非离子型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，在得到所述第二反应混合物时，使反应体系在400转/分钟-600转/分钟的所述搅拌条件下进行所述反应。

6.根据权利要求1所述的非离子型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，在得到所述第二反应混合物时，使所述氮气的通入时间为10分钟-15分钟。

7.根据权利要求1所述的非离子型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述额外的水的补加量使得所述非离子型缓蚀剂的含水质量百分比为30％-40％。

8.根据权利要求1所述的非离子型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述乳化剂为烷醇酰胺型非离子表面活性剂。

9.一种非离子型缓蚀剂，其特征在于，所述非离子型缓蚀剂采用权利要求1-8任一项所述的方法制备得到。

10.根据权利要求9所述的非离子型缓蚀剂，其特征在于，所述非离子型缓蚀剂的含水质量百分比为30％-40％，粘度为20mPa.s-100mPa.s。