[发明专利]一种OLED与基板激光剥离前研磨清洗防水平台在审
申请号: | 202110657808.7 | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN115476266A | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 高军鹏;康宏刚;李世杰;张立文 | 申请(专利权)人: | 深圳市易天自动化设备股份有限公司 |
主分类号: | B24B37/10 | 分类号: | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B55/00;H01L51/56 |
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地址: | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 oled 激光 剥离 研磨 清洗 防水 平台 | ||
1.一种OLED与基板激光剥离前研磨清洗防水平台,其特征在于:包括研磨载台(72)及FPC防水组件(73),其中,上述研磨载台(72)水平设置;上述FPC防水组件(73)设置在研磨载台(72)的一侧;研磨载台(72)上放置有待研磨的OLED基板,连接于OLED基板一侧的FPC延伸至FPC防水组件(73)内,经FPC防水组件(73)支撑;FPC防水组件(73)将FPC覆盖保护,且通过并列设置于研磨载台(72)与FPC防水组件(73)之间的两排气孔吹出高压气体,形成内侧的斜风幕及外侧的直风幕,以阻隔研磨载台(72)与FPC防水组件(73)之间的空间,防止OLED基板在研磨载台(72)上研磨时的物质进入FPC内。
2.根据权利要求1所述的一种OLED与基板激光剥离前研磨清洗防水平台,其特征在于:所述的研磨载台(72)包括载台支架、载台吸板(721)及载台吸孔(722),其中,上述载台支架水平设置,载台吸板(721)包括至少二块,载台吸板(721)水平设置在载体支架上;上述载台吸孔(722)包括至少二个,载台吸孔(722)布设在载台吸板(721)上,载台吸孔(722)根据OLED基板在载台吸板(721)所在水平面内形成真空负压吸附区域,通过控制不同位置的载台吸孔(722)工作,使真空负压吸附区域兼容吸附横屏或竖屏。
3.根据权利要求2所述的一种OLED与基板激光剥离前研磨清洗防水平台,其特征在于:所述的FPC防水组件(73)包括FPC支架(730)、翻转保护部件、FPC支台(736)及阻隔部件,其中,上述FPC支架(730)水平靠近载台支架的外侧设置;上述FPC支台(736)水平设置在FPC支架(730)的中部,OLED基板侧边连接的FPC经FPC支台(736)水平支撑;上述翻转保护部件设置在FPC支台(736)的外侧,并在FPC支台(736)上方翻转运动,以便覆盖并保护FPC;上述阻隔部件设置在FPC支台(736)的内侧,阻隔部件通过台阶差面及风幕阻隔载台吸板(721)上OLED基板研磨时水汽溅射至FPC支台(736)。
4.根据权利要求3所述的一种OLED与基板激光剥离前研磨清洗防水平台,其特征在于:所述的翻转保护部件包括翻转电机(731)、转轴(732)、连接座(733)及盖板(734),其中,上述翻转电机(731)设置在FPC支架(730)的外侧,且输出端朝FPC支架(730)侧边方向设置;上述转轴(732)沿FPC支架(730)侧边方向设置在FPC支架(730)的外侧,并与翻转电机(731)的输出端连接,翻转电机(731)驱动转轴(732)旋转运动;上述连接座(733)包括至少二个,连接座(733)可拆卸地套设固定在转轴(732)上;上述盖板(734)的一侧固定在连接座(733)上,盖板(734)的底面设有沿侧边方向延伸的围条,围条在对应盖板(734)内侧边处开放;翻转电机(731)通过驱动转轴(732)带动盖板(734)旋转运动。
5.根据权利要求3所述的一种OLED与基板激光剥离前研磨清洗防水平台,其特征在于:所述的阻隔部件包括阻隔支台(737)、阻隔斜面(738)、阻隔气孔(739)及气孔(7310),其中,上述阻隔支台(737)平行间隔地设置在FPC支台(736)的内侧,阻隔支台(737)的高度高于FPC支台(736);上述阻隔斜面(738)设置在阻隔支台(737)的内侧,阻隔斜面(738)由外而内倾斜向下延伸;上述阻隔气孔(739)包括至少二个,阻隔气孔(739)均匀间隔地设置在阻隔斜面(738)上,各阻隔气孔(739)沿垂直于阻隔斜面(738)方向吹出高压气体,形成斜风幕,以便阻断从载台吸板(721)处溅射的水汽;阻隔支台(737)与FPC支台(736)之间形成条状凹槽;上述气孔(7310)包括至少二个,气孔(7310)均匀间隔地设置在条状凹槽内,气孔(7310)沿竖直方向形成直风幕。
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