[发明专利]一种载板传送装置有效
申请号: | 202110661268.X | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN113394147B | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 谢建;罗文杰;刘永才 | 申请(专利权)人: | 深圳市创一智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 陈宇;张颖玲 |
地址: | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 传送 装置 | ||
本发明提供一种载板传送装置,包括传输机构和驱动装置,载板开设多个间隔设置的台阶槽,传输机构在载板传送的方向间隔设置,驱动装置带动传输机构转动以传送载板,相邻的两个传输机构用于设置在载板上的同一个台阶槽的两侧,且相邻的传输机构之间的间距可调。载板以镂空的方式承载硅片,即硅片搭设在台阶槽的两侧,在硅片尺寸变化的情况下,载板中的台阶槽尺寸相应发生变化,本发明实施例由于相邻传输机构的间距可调,使得传输机构能调节为始终位于台阶槽的两侧并与载板接触,从而能够运送承载不同尺寸的载板,提高了载板传送装置对不同尺寸硅片的适应性,进而提高了太阳能电池的生产效率。
技术领域
本发明属于太阳能电池生产技术领域,更具体地,涉及一种载板传送装置。
背景技术
在太阳能电池片的生产过程中,硅片作为载体需要在生产系统的各个部件之间传输,从而实现对硅片的检测、表面蚀刻、丝网印刷等,最终得到在硅片表面印刷有预设电路的太阳能电池片。
在硅片的传输和加工的部分工艺过程中需要载板来承载硅片,载板的尺寸远大于硅片,载板沿某个方向传输,在该传输过程中,抓取装置抓取由传输带传输而来的硅片到载板上,直至载板上成行成列的排布好预定数量的硅片,然后由载板承载硅片进入下一个工艺流程的加工。
根据实际需求的改变,生产的硅片的尺寸型号改变,对应的载板上用于定位硅片的行和列的位置需要改变,从而用来传输载板的传送装置的位置也需要改变,而相关的载板传送装置调节位置的方式较为复杂,对硅片型号改变的适应性较弱,导致生产效率不高。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种载板传送装置,以解决如何提高载板传送装置对不同尺寸硅片加工的适应性的技术问题。
本发明的技术方案是这样实现的:
本发明实施例提供了一种载板传送装置,所述载板开设多个间隔设置的台阶槽,所述载板传送装置包括:
多个传输机构,在第一方向上间隔设置,以承载并传送所述载板,其中,所述第一方向为所述载板传送的方向;
驱动装置,用于带动所述传输机构转动以沿所述第一方向传送所述载板;
其中,在所述第一方向上相邻的两个所述传输机构用于设置在所述载板上的同一个所述台阶槽的两侧,且相邻的两个所述传输机构之间的间隔距离可调节。
进一步地,所述驱动装置与每个所述传输机构通过齿形结构连接。
进一步地,所述驱动装置包括:
驱动源;
主动轴,沿所述第一方向延伸并与所述驱动源连接,以绕所述第一方向转动;
多个第一伞齿轮,间隔设置在所述主动轴上,多个所述第一伞齿轮之间的间隔距离可调节;
每个所述传输机构包括:
从动轴,延伸方向与所述第一方向基本垂直;
第二伞齿轮,至少设置于所述从动轴的一端,所述第二伞齿轮与所述第一伞齿轮啮合,用于带动所述从动轴跟随所述主动轴转动;
其中,所述第一伞齿轮与所述第二伞齿轮一一对应。
进一步地,所述主动轴在所述第一方向上间隔设置多个定位槽,所述第一伞齿轮用于与所述定位槽可拆卸的固定连接,其中,所述定位槽的数量大于所述第一伞齿轮的数量。
进一步地,所述传输机构还包括:
多个滚轮,在所述从动轴的延伸方向上间隔设置,用于承载所述载板。
进一步地,还包括:
支撑件,用于支撑所述传输机构,且所述驱动装置与所述支撑件连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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