[发明专利]显示装置及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110661581.3 申请日: 2021-06-15
公开(公告)号: CN113437100B 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 崔巍 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 唐秀萍
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 显示装置 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种显示装置,其特征在于,所述显示装置包括:

多个感光电路,多个所述感光电路用于根据外界光信号产生光生载流子,并根据产生所述光生载流子的所述感光电路确定所述外界光信号对应所述显示装置的坐标信息,每个所述感光电路包括电连接的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管,所述第一薄膜晶体管用于接收外界光信号并将外界光信号转化成电信号输出,所述第二薄膜晶体管用于传输电信号,所述第一薄膜晶体管包括第一氧化物层和第二氧化物层;

至少一个微结构,所述微结构设置在所述感光电路朝向外界光照方向一侧,每个所述微结构包括多个凸起部以及位于多个所述凸起部之间的凹陷部;所述微结构用于提高外界光信号的穿透率;

其中,当有外界光照时,所述第二氧化物层接收穿过所述微结构的外界光信号产生光生载流子;当光照停止后,所述第一氧化物层中和所述光生载流子。

2.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,所述显示装置包括承载部,所述承载部设置在所述感光电路朝向外界光信号一侧,多个所述微结构分别设置在所述承载部的两侧。

3.根据权利要求2所述的显示装置,其特征在于,所述多个凸起部在所述承载部上呈阵列排布。

4.根据权利要求2所述的显示装置,其特征在于,所述显示装置包括依次层叠设置的上偏光片、上层基板、下层基板和下偏光片;

当所述感光电路设置在所述上层基板远离所述上偏光片的一侧时,所述承载部为所述上层基板和所述上偏光片中的至少一个。

5.根据权利要求4所述的显示装置,其特征在于,在所述上层基板和所述上偏光片之间设置有所述微结构,和/或

在所述上偏光片远离所述上层基板的一侧设置有所述微结构。

6.根据权利要求2所述的显示装置,其特征在于,所述微结构还包括基材部,所述基材部设置在所述承载部和所述凸起部之间。

7.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,所述凸起部的高度为50nm~200nm,和/或

所述凹陷部的深度为50nm~200nm,和/或

相邻两个所述凸起部的间隔距离为10nm~100nm。

8.根据权利要求7所述的显示装置,其特征在于,所述第一氧化物层的材料为氧化亚锡,所述第二氧化物层的材料为氧化铟镓锌。

9.一种显示装置的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:

提供衬底;

在衬底上涂抹金属材料形成栅极层;

在所述栅极层上铺设绝缘材料形成绝缘层;

在所述绝缘层上铺设材料形成第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管,所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管形成多个感光电路,多个所述感光电路用于根据外界光信号产生光生载流子,并根据产生所述光生载流子的所述感光电路确定所述外界光信号对应所述显示装置的坐标信息,每个所述感光电路包括电连接的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管,所述第一薄膜晶体管用于接收外界光信号并将外界光信号转化成电信号输出,所述第二薄膜晶体管用于传输电信号,所述第一薄膜晶体管包括第一氧化物层和第二氧化物层;

在所述感光电路上形成微结构;每个所述微结构包括多个凸起部以及位于多个所述凸起部之间的凹陷部;所述微结构用于提高外界光信号的穿透率;

其中,当有外界光照时,所述第二氧化物层接收穿过所述微结构的外界光信号产生光生载流子;当光照停止后,所述第一氧化物层中和所述光生载流子。

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