[发明专利]一种金刚石晶片复合抛光加工方法及装置

权利要求书

1.一种金刚石晶片复合抛光加工方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：配置芬顿反应液；

步骤二：采用紫外光照射步骤一配置好的芬顿反应液；

步骤三：将金刚石工件安装在抛光加工装置的工件盘上，并使抛光加工装置的抛光垫与金刚石工件接触，然后输送经过步骤二中经过紫外光照射的芬顿反应液到抛光垫上；

步骤四：使抛光垫与金刚石作相对旋转运动进行抛光。

2.根据权利要求1所述的金刚石晶片复合抛光加工方法，其特征在于，在步骤一中，还包括配置光催化反应液；在步骤二中，采用紫外光照射步骤一配置好的芬顿反应液和光催化反应液；在步骤三中，将芬顿反应液和光催化反应均输送到抛光垫上。

3.根据权利要求1所述的金刚石晶片复合抛光加工方法，其特征在于，所述芬顿反应液由第一基液、第一磨粒、芬顿反应催化剂、H₂O₂和去离子水混合而成。

4.根据权利要求2所述的金刚石晶片复合抛光加工方法，其特征在于，所述光催化反应液由第二基液、第二磨粒、光催化剂、电子捕捉剂和pH调节剂混合而成。

5.根据权利要求1所述的金刚石晶片复合抛光加工方法，其特征在于，在步骤二中，紫外光光照强度可选为500mW/cm²-1500mW/cm²。

6.一种金刚石晶片复合抛光加工装置，其特征在于，包括：

工件盘运动组件(400)，所述工件盘运动组件(400)用于装载工件(100)并带动工件(100)旋转；

抛光盘运动组件(500)，所述抛光盘运动组件(500)包括抛光垫(510)和抛光盘(520)，所述抛光垫(510)装载在所述抛光盘(520)；

抛光液供应系统(600)，所述抛光液供应系统(600)包括抛光液制备装置(610)和输送所述抛光液制备装置(610)内的液体到所述抛光盘(520)上的输送装置；

紫外光发生装置(300)，所述紫外光发生装置(300)用于产生紫外光并照射在所述抛光液制备装置(610)上。

7.根据权利要求6所述的金刚石晶片复合抛光加工装置，其特征在于，所述工件盘运动组件(400)包括工件盘(480)、连接法兰(470)、工件盘驱动主轴(460)、工件盘驱动器(450)和偏摆机构，所述工件盘(480)用于装载工件(100)，所述工件盘(480)通过所述连接法兰(470)与所述工件盘驱动主轴(460)连接，所述工件盘驱动器(450)与所述工件盘驱动主轴(460)连接以带动所述工件盘驱动主轴(460)转动；

所述偏摆机构包括偏摆杆(420)和偏摆滑块(430)，所述偏摆杆(420)与所述抛光盘(520)平行，所述工件盘驱动器(450)连接在所述偏摆滑块(430)上，所述偏摆滑块(430)可移动地连接在所述偏摆杆(420)上。

8.根据权利要求7所述的金刚石晶片复合抛光加工装置，其特征在于，所述工件盘运动组件(400)还包括压力气缸(440)，所述压力气缸(440)连接在所述偏摆滑块(430)上，所述工件盘驱动器(450)连接在所述压力气缸(440)的输出端上。

9.根据权利要求6所述的金刚石晶片复合抛光加工装置，其特征在于，所述抛光液供应系统(600)还包括搅拌器(620)，所述搅拌器(620)设置于所述抛光液制备装置(610)上。

10.根据权利要求6所述的金刚石晶片复合抛光加工装置，其特征在于，所述紫外光发生装置(300)包括紫外光发生器(310)、光纤(320)、紫外光发射头(330)和支架(340)，所述紫外光发生器(310)用于产生紫外光，所述紫外光发生器(310)通过所述光纤(320)与所述紫外光发射头(330)连接，所述紫外光发射头(330)设有复眼透镜，所述紫外光发射头(330)可沿靠近或远离所述容器的方向移动地连接在所述支架(340)上。