[发明专利]一种Pd复合膜的制备方法

权利要求书

1.一种Pd复合膜的制备方法，其特征在于：按照以下步骤，

步骤一：多孔基体预处理，

用专用切割片将多孔陶瓷管或者多孔不锈钢管切成规定的长度，随后用水冲洗表面粉状颗粒，然后用依次用酸、碱溶液和去离子水清洗表面污染物；

步骤二：多孔基体表面修饰，

采用真空辅助CeO₂粉末修饰步骤一得到的多孔基体，取CeO₂粉末放入容器中，加入去离子水，然后放在超声仪中分散，制备浓度为CeO₂粉末修饰液，然后将多孔基体内部抽真空并放入修饰液中进行表面修饰，随后用布擦掉多余粉末，并放入管式炉中煅烧，使多孔基体表面孔径变小且分布均匀；

步骤三：Pd金属复合膜制备，

将步骤二得到的多孔基体进行化学镀Pd膜；

首先利用敏化-活化两步法在修饰后的多孔基体上预先接种纳米钯颗粒；然后利用旋转化学镀法镀1～5μm的Pd膜，然后将制备的多孔基体放入真空热处理炉中，在350～600℃的温度下，将气体充入热处理炉中，使多孔基体进行热处理，然后在惰性气体保护下降温，随后继续进行化学镀镀1-5μm的Pd膜，最终得到Pd膜厚度为2～10μm的Pd复合膜。

2.根据权利要求1所述的一种Pd复合膜的制备方法，其特征在于，所述多孔基体为平均孔径为0.05um～20um的多孔不锈钢、多孔陶瓷、多孔玻璃和多孔镍中的一种。

3.根据权利要求1所述的一种Pd复合膜的制备方法，其特征在于，步骤三中的热处理中，通入的气体为氢气、氮气、氩气、氦气中的一种或多种混合气体。

4.根据权利要求2所述的一种Pd复合膜的制备方法，其特征在于，热处理的时间为5～48h。

5.根据权利要求1所述的一种Pd复合膜的制备方法，其特征在于，步骤三中的Pd膜为由Pd、PdCu、PdAu、PdAg、PdY、PdGd或由Pd、Cu、Au、Ag、Y、Gd组成的多元合金膜。