[发明专利]一种基于石英晶体微天平的湿度传感器及制备方法在审
申请号: | 202110665912.0 | 申请日: | 2021-06-16 |
公开(公告)号: | CN113390748A | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 黄显核;陈桥 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01N5/02 | 分类号: | G01N5/02;G01N29/02;B05D7/24;B05D7/00;B05D5/00;B05D3/00 |
代理公司: | 四川鼎韬律师事务所 51332 | 代理人: | 温利平 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 石英 晶体 天平 湿度 传感器 制备 方法 | ||
1.一种基于石英晶体微天平的湿度传感器,包括QCM换能器,其特征在于:
所述QCM换能器的电极表面涂覆有木质素的湿敏薄膜。
2.一种于石英晶体微天平的湿度传感器制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)、清洗QCM换能器
将QCM换能器依次放入到去离子水和无水乙醇中,超声清洗1分钟,然后放入40-60℃干燥箱中干燥2小时,然后放入干净容器中备用;
(2)、制备木质素
使用乙醇/水混合溶剂、1.5wt%的浓硫酸与稻秆粉末在反应釜中混合,在180℃搅拌3小时,然后洗涤、过滤、干燥得到木质素;
(3)、制备敏感材料分散液
称取定量的木质素加入到定量的溶剂中,超声3-5小时制成浓度为1-4mg/ml的敏感材料分散液;
(4)、涂覆湿敏薄膜
将步骤(1)得到的QCM换能器水平放置,然后将步骤(3)制备的敏感材料分散液涂覆在QCM换能器的电极表面,干燥得到湿敏薄膜,制成涂覆有木质素的湿度传感器,完成基于石英晶体微天平的湿度传感器的制备。
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