[发明专利]柔性自支撑BaTiO3在审

专利信息
申请号: 202110667604.1 申请日: 2021-06-16
公开(公告)号: CN113698194A 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 安峰;钟高阔;李江宇;黄明强 申请(专利权)人: 中国科学院深圳先进技术研究院
主分类号: C04B35/468 分类号: C04B35/468;C04B35/32;C04B35/622;B82Y40/00;B82Y30/00;C23C14/28;C23C14/08;C23C14/02;C23C14/54
代理公司: 北京维正专利代理有限公司 11508 代理人: 任志龙
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 柔性 支撑 batio base sub
【权利要求书】:

1.一种柔性自支撑BaTiO3-CoFe2O4多铁自组装纳米材料,其特征在于,包括磁性CoFe2O4(CFO)子体和铁电性BaTiO3(BTO)母体,所述CFO子体以纳米柱的形式嵌入所述BTO母体中构成1-3型复合磁电多铁自组装纳米材料,所述BTO-CFO多铁自组装纳米材料为柔性自支撑材料且可摆脱衬底束缚独立存在。

2.根据权利要求1所述的柔性自支撑BaTiO3-CoFe2O4多铁自组装纳米材料,其特征在于,所述BTO-CFO多铁自组装纳米材料的厚度为60~100nm。

3.根据权利要求1所述的柔性自支撑BaTiO3-CoFe2O4多铁自组装纳米材料,其特征在于,所述CFO子体为矩形纳米柱结构,所述CFO子体的横向直径为25~70nm,所述CFO子体呈有序阵列分布于所述BTO母体中。

4.根据权利要求1所述的柔性自支撑BaTiO3-CoFe2O4多铁自组装纳米材料,其特征在于,所述CFO子体和所述BTO母体在界面处为外延生长,其外延生长关系为BTO[001]-CFO[001]。

5.权利要求1~4任一项所述的柔性自支撑BaTiO3-CoFe2O4多铁自组装纳米材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)选取特定晶面取向的基片;

(2)在选取的特定晶面取向的基片上制备预溶层;

(3)在预溶层上制备BaTiO3-CoFe2O4(BTO-CFO)层,形成基片/水溶层/BTO-CFO层的多层外延结构;

(4)将制得的多层外延结构浸泡于溶剂中溶解预溶层,基片与BTO-CFO层分离,制得柔性自支撑BTO-CFO多铁自组装纳米材料。

6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)选取特定晶面取向的SrTiO3(STO)基片;

(2)在选取的特定晶面取向的STO基片上制备Sr3Al2O6(SAO)层;

(3)在SAO层上制备BaTiO3-CoFe2O4(BTO-CFO)层,形成STO/SAO/BTO-CFO多层外延结构;

(4)将制得的STO/SAO/BTO-CFO多层外延结构浸泡于溶剂中溶解SAO层,STO基片与BTO-CFO层分离,制得柔性自支撑BTO-CFO多铁自组装纳米材料。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)中制备SAO层、步骤(3)中制备BTO-CFO层均采用脉冲激光沉积方法。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)中SAO层的沉积温度为650~750℃,动态氧分压为1×10-6~5×10-6Torr。

9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,步骤(3)中BTO-CFO层的沉积温度为800~850℃,动态氧分压为3×10-2~1×10-1Torr。

10.根据权利要求7~9任一项所述的制备方法,其特征在于,沉积过程中激光能量为280~380mJ,激光脉冲频率独立为8~10Hz,沉积时间独立为10~90min。

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