[发明专利]一种微型3D投影装置基片研抛装置及其研抛方法

权利要求书

1.一种微型3D投影装置基片研抛装置，其特征在于：包括数控台(1)、工作台(2)、一级研抛组件和二级研抛组件；

所述一级研抛组件包括行程组件、驱动组件、固定组件和抛光组件；

所述行程组件包括导轨板(3)、滑块(4)、螺杆(5)和行程电机(6)，所述导轨板(3)的数量为两个且相互平行设置地设置在工作台(2)上，所述导轨板(3)上均设有行程槽(7)，所述行程槽(7)中均滑接有与之匹配的滑块(4)，所述导轨板(3)上均活动安装有沿行程槽(7)方向的螺杆(5)，所述滑块(4)上贯穿有与螺杆(5)匹配的螺槽(8)，所述螺杆(5)处于导轨板(3)外部的端部均设有驱动其旋转的行程电机(6)，所述滑块(4)远离另一滑块(4)的外壁上均设有水平的支撑板(9)；

所述驱动组件包括联结杆(10)和旋转电机(11)，所述联结杆(10)的两端分别与对应的滑块(4)转动连接，所述旋转电机(11)设置在任意一个支撑板(9)上，并且所述旋转电机(11)的输出轴与联结杆(10)同轴式固定连接；

所述固定组件包括C型臂(12)、负压筒(13)、真空吸盘(14)和负压泵(15)，所述联结杆(10)上以等间距线型阵列的方式对称地设有一组C型臂(12)，所述C型臂(12)的另一端安装有负压筒(13)，所述负压筒(13)的远离联结杆(10)的端部均设有与之导通的真空吸盘(14)，所述负压泵(15)设置在另一个支撑板(9)上，所述负压筒(13)尾部均通过导气管(16)与负压泵(15)的进气端连通；

所述抛光组件包括抛光池(17)、磨盘(18)、齿轮(19)、链条(20)和抛光电机(21)，所述抛光池(17)在设置工作台(2)上且处于导轨板(3)沿其行程方向的后端，所述抛光池(17)远离联结杆(10)一端的侧壁上贯穿有一组与C型臂(12)一一对应的轴槽，所述轴槽中均转动连接有转轴，所述转轴处于抛光池(17)内部、外部的端部分别安装有磨盘(18)、齿轮(19)，所述齿轮(19)之间通过链条(20)传动连接，所述抛光电机(21)的输出轴与与任意一个齿轮(19)同轴式连接，所述抛光池(17)靠近联结杆(10)一端的侧壁上开设有一组与C型臂(12)一一对应的缺口(22)；

所述二级研抛组件包括安装座(23)、抛光筒(24)、电磁铁(25)和电源模块(26)，所述安装座(23)设置在工作台(2)上，所述安装座(23)内部的开设有与之匹配的空腔(27)，所述空腔(27)的顶壁上均匀地设有一组同心圆刻线(28)，每一个所述刻线(28)的圆周上均对称地布满有电磁铁(25)，所述抛光筒(24)可拆卸式的安装在安装座(23)的顶部，所述电磁铁(25)均通过线缆(29)与电源模块(26)电连接；

所述一级研抛组件和二级研抛组件均由数控台(1)控制。

2.根据权利要求1所述的一种微型3D投影装置基片研抛装置，其特征在于，所述一级研抛组件还配套有与之匹配的辅助组件，所述辅助组件包括喷淋头(30)、输送泵(31)、储液桶(32)和废液桶(33)，所述抛光池(17)的池口处设有呈倒U型的支撑架(34)，所述支撑架(34)上设有一组与磨盘(18)位置一一对应且输出端朝下的喷淋头(30)，所述储液桶(32)与废液桶(33)均设置在靠近工作台(2)的地面上，所述输送泵(31)设置在储液桶(32)上，所述输送泵(31)输入端的水管(49)伸入储液桶(32)内部，所述输送泵(31)输出端的水管(49)与各个喷淋头(30)连通，所述抛光池(17)上设有排液管(35)，所述负压泵(15)的输出端设有排气管(36)，所述排液管(35)和排气管(36)的另一端均连通到废液桶(33)的内部。

3.根据权利要求2所述的一种微型3D投影装置基片研抛装置，其特征在于，所述储液桶(32)中储存有预先配制的抛光液。

4.根据权利要求2所述的一种微型3D投影装置基片研抛装置，其特征在于，所述储液桶(32)和废液桶(33)的顶部的桶盖上均设有压力平衡管(37)。

5.根据权利要求1所述的一种微型3D投影装置基片研抛装置，其特征在于，所述真空吸盘(14)的作用面均匀的布满有吸附孔(38)。