[发明专利]载置台和检查装置

权利要求书

1.一种载置台，其特征在于，包括：

载置部，其具有用于载置被检查体的板部件和透光性部件；以及

光照射机构，其照射光以使所述被检查体升温，

所述板部件和所述透光性部件由线膨胀系数为1.0×10^-6/K以下的低热膨胀材料形成。

2.如权利要求1所述的载置台，其特征在于：

所述板部件由具有透光性的材料形成，

在所述板部件的表面具有热喷涂膜，

所述热喷涂膜能够被照射从所述光照射机构辐射的光而被加热。

3.如权利要求1所述的载置台，其特征在于：

所述板部件由金属材料形成，

所述金属材料能够被照射从所述光照射机构辐射的光而被加热。

4.如权利要求1所述的载置台，其特征在于：

所述板部件包括：金属材料，其具有在厚度方向上贯通的孔；和形成于该金属材料的表面的热传导膜，

所述板部件能够被照射从所述光照射机构辐射的光而被加热。

5.如权利要求3或4所述的载置台，其特征在于：

在所述板部件的表面具有热喷涂膜。

6.如权利要求2或5所述的载置台，其特征在于：

所述热喷涂膜具有：

在所述板部件上形成的第一绝缘膜；

在所述第一绝缘膜上形成的测温电阻体膜；和

在所述测温电阻体膜上形成的第二绝缘膜。

7.如权利要求1～6中任一项所述的载置台，其特征在于：

所述载置部具有供致冷剂流动的流路。

8.一种检查装置，其特征在于，包括：

用于载置被检查体的载置台；

与所述载置台相对地配置的探针卡；和

与所述探针卡连接的测试器，

所述载置台具有：

载置部，其具有用于载置所述被检查体的板部件和透光性部件；以及

光照射机构，其照射光以使所述被检查体升温，

所述板部件和所述透光性部件由线膨胀系数为1.0×10^-6/K以下的低热膨胀材料形成。