[发明专利]紫外线照射装置

权利要求书

1.一种紫外线照射装置，其特征在于，

具备：

准分子灯，具有：被封入发光气体的放电容器；及与上述放电容器抵接而配置、使上述放电容器的内部产生介质阻挡放电的一对第一电极及第二电极；以及

箱体，将上述准分子灯收容在内部，具有光射出窗，该光射出窗放射从上述准分子灯发出的在波长200nm～230nm具有中心波长的光，上述箱体由绝缘性的耐热树脂材料构成。

2.如权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，

还具备：

第一导电体，与上述第一电极电连接，贯通上述箱体而设置；以及

第二导电体，与上述第二电极电连接，贯通上述箱体而设置；

上述第一导电体及上述第二导电体在上述箱体的外部与向上述准分子灯供给电力的电源部电连接。

3.如权利要求2所述的紫外线照射装置，其特征在于，

上述第一电极及上述第二电极与上述箱体抵接而被固定；

上述第一电极与上述第一导电体的连接被设置在上述箱体中的上述第一电极所抵接的面上；

上述第二电极与上述第二导电体的连接被设置在上述箱体中的上述第二电极所抵接的面上。

4.如权利要求2所述的紫外线照射装置，其特征在于，

上述第一导电体具备：第一连接端子，与上述第一电极电连接，贯通上述箱体而设置；以及第一导电部件，连接在上述第一连接端子；

上述第二导电体具备：第二连接端子，与上述第二电极电连接，贯通上述箱体而设置；以及第二导电部件，连接在上述第二连接端子；

上述第一连接端子及上述第二连接端子在上述箱体的外部，经由上述第一导电部件及上述第二导电部件与向上述准分子灯供给电力的电源部电连接。

5.如权利要求4所述的紫外线照射装置，其特征在于，

上述第一电极及上述第二电极与上述箱体抵接而被固定；

上述第一连接端子设置在上述箱体中的上述第一电极所抵接的面上；

上述第二连接端子设置在上述箱体中的上述第二电极所抵接的面上。

6.如权利要求5所述的紫外线照射装置，其特征在于，

上述第一连接端子及上述第二连接端子是将上述第一电极及上述第二电极分别固定在上述箱体的螺纹部件。

7.如权利要求2所述的紫外线照射装置，其特征在于，

上述箱体构成为，具备上框部和下框部，由上述上框部和上述下框部形成收容上述准分子灯的封闭空间；

在上述上框部形成有上述光射出窗；

在上述下框部分别固定着上述第一电极及上述第二电极。

8.如权利要求3所述的紫外线照射装置，其特征在于，

上述箱体构成为，具备上框部和下框部，由上述上框部和上述下框部形成收容上述准分子灯的封闭空间；

在上述上框部形成有上述光射出窗；

在上述下框部分别固定着上述第一电极及上述第二电极。

9.如权利要求2或3所述的紫外线照射装置，其特征在于，

在上述箱体的与形成有上述光射出窗的面相反侧，配置有上述电源部。

10.如权利要求9所述的紫外线照射装置，其特征在于，

上述电源部具备逆变器和将该逆变器冷却的冷却机构。

11.如权利要求7或8所述的紫外线照射装置，其特征在于，

在上述光射出窗设置有阻止与230nm相比长波长侧的UVC波的透射的光学滤波器。

12.如权利要求1～8中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，

上述耐热树脂材料是聚四氟乙烯即PTFE、乙烯—四氟乙烯共聚物即ETFE、全氟烷氧基烷烃即PFA、聚醚酰亚胺即PEI、含玻璃纤维的聚苯硫醚即PPS—GF、液晶聚合物即LCP及含玻璃纤维的聚对苯二甲酸丁二醇酯即PBT—GF的某种。

13.如权利要求1～8中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，

上述耐热树脂材料是聚醚酰亚胺即PEI。