[发明专利]一种微电子机械系统MEMS加速度计

权利要求书

1.一种微电子机械系统MEMS加速度计，包括底板(1)和MSME加速度计本体(2)，所述MSME加速度计本体(2)设置于底板(1)的上端，其特征在于，所述底板(1)的上端设有壳体(3)，所述壳体(3)的下端与底板(1)靠近左右两侧的上端活动卡接，所述底板(1)的上端设有若干上下连通的接线通孔(4)，所述壳体(3)靠近顶面的内壁上设有电磁屏蔽件，所述壳体(3)的顶面上设有散热防尘机构。

2.根据权利要求1所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，所述底板(1)的上端固定连接有矩形环状凸起(5)，所述MSME加速度计本体(2)插设于矩形环状凸起(5)内，所述矩形环状凸起(5)与底板(1)呈一体化成型设置。

3.根据权利要求1所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，所述壳体(3)的下端固定连接有矩形环状垫圈(6)，所述矩形环状垫圈(6)的下端与底板(1)的上端相抵接触，若干所述接线通孔(4)的环形内壁上均固定连接有两块扇形挡尘片(7)。

4.根据权利要求3所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，所述壳体(3)位于左右两侧的下端均固定连接有固定块(8)，两块所述固定块(8)均贯穿矩形环状垫圈(6)设置，所述底板(1)内设有两个腔室(9)，两个所述腔室(9)分别位于两块固定块(8)的下方，两块所述固定块(8)分别贯穿两个腔室(9)的顶面设置，两块所述固定块(8)位于腔室(9)内的相对侧壁上均设有限位卡槽(10)，两个所述腔室(9)远离接线通孔(4)的内壁上均水平贯穿设有勾型卡块(11)，两块所述勾型卡块(11)分别插设于两个限位卡槽(10)内，两个所述腔室(9)的相对内壁上均固定连接有压力弹簧(12)，所述压力弹簧(12)远离腔室(9)内壁的一端与勾型卡块(11)固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，所述电磁屏蔽件包括分别固定连接于壳体(3)左右两侧内壁上的两块限位片(13)，若干所述限位片(13)之间呈两两相对设置，且靠近壳体(3)的顶面设置，若干所述限位片(13)之间插设有同一块电磁屏蔽片(14)，所述电磁屏蔽片(14)的侧壁与壳体(3)的内壁相抵接触。

6.根据权利要求5所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，所述矩形环状垫圈(6)、扇形挡尘片(7)和限位片(13)均为橡胶制品。

7.根据权利要求1所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，所述散热防尘机构设置于壳体(3)顶面上的矩形开口(15)，所述矩形开口(15)的左右两侧内壁上均设有条形插槽(16)，所述条形插槽(16)的前后两侧内壁分别与矩形开口(15)的前后两侧内壁无缝连接，两个所述条形插槽(16)内插设有同一块防尘软片(17)。

8.根据权利要求7所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，所述防尘软片(17)靠近两个条形插槽(16)的上端均粘合固定有柱形拉杆(18)。