[发明专利]移动体装置和曝光装置以及器件制造方法

权利要求书

1.一种移动体装置，其具有保持物体并可相对于基座移动的移动体、以及具有设置于所述移动体的动子及设置于所述基座的定子的驱动装置，所述移动体装置的特征在于，

所述移动体具有滑块、支承构件以及保持构件，所述动子附接于所述滑块，所述支承构件动态地支承于所述滑块，所述保持构件支承于所述支承构件，

所述驱动装置为平面电机，该平面电机构成为使用在所述动子与所述定子之间产生的电磁力使保持于所述移动体上的所述物体相对于所述基座在6个自由度方向上移动。

2.根据权利要求1所述的移动体装置，其特征在于，

所述平面电机具有包括多个永磁铁的磁铁单元以及包括多个线圈的线圈单元，

所述磁铁单元以及所述线圈单元的一方设置于所述滑块的下表面，

所述磁铁单元以及所述线圈单元的另一方配置于所述基座。

3.根据权利要求1所述的移动体装置，其特征在于，

用于检测所述移动体的位置的编码器系统的一部分设置在所述支承构件上。

4.根据权利要求1所述的移动体装置，其特征在于，

所述移动体包括配置在所述滑块上的框架，

压膜阻尼器形成在所述支承构件的表面与所述框架的与所述滑块相对置的表面之间。

5.根据权利要求4所述的移动体装置，其特征在于，

所述压膜阻尼器包括彼此分离的多个压膜阻尼器。

6.根据权利要求5所述的移动体装置，其特征在于，

所述多个压膜阻尼器关于所述保持构件的中心彼此对称配置。

7.根据权利要求1所述的移动体装置，其特征在于，

还包括可相对于保持所述物体的所述保持构件移动的上下运动构件，所述上下运动构件支承于所述滑块。

8.根据权利要求7所述的移动体装置，其特征在于，

所述移动体包括配置在所述滑块上的框架，所述上下运动构件借助所述框架支承于所述滑块。

9.根据权利要求1所述的移动体装置，其特征在于，

所述支承构件通过多个杆构件而支承在所述滑块的上方。

10.根据权利要求1所述的移动体装置，其特征在于，

还包括制冷剂供给装置，该制冷剂供给装置与在所述滑块内形成的流路连接。

11.根据权利要求1所述的移动体装置，其特征在于，

还包括设置于所述滑块的载台装置，

所述载台装置装有将管道以及布线一体化的能量供给管。

12.根据权利要求11所述的移动体装置，其特征在于，

所述载台装置包括载台基座以及载台构件，所述载台构件夹持所述能量供给管，并且支承于配置于所述滑块的所述载台基座。