[发明专利]一种一维有序结构的金属氧化物纳米纤维薄膜材料及其制备方法在审
| 申请号： | 202110676850.3 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113415780A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张博;甘雨;吴东燕;胡青卓;鲁迪;许苏;陆禹;刘青青;鲁直 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 卢敏 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 有序 结构 金属 氧化物 纳米 纤维 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种一维有序结构的金属氧化物纳米纤维薄膜材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、三明治结构多层薄膜的制备
在衬底上依次交替沉积Ti-M合金薄膜层和M单一金属薄膜层，形成三明治结构多层薄膜；
步骤2、一维有序结构的金属氧化物纳米纤维薄膜材料的制备
将形成有多层薄膜的衬底浸泡在NaOH溶液中，室温下自然脱合金，即在衬底上形成一维有序结构的金属氧化物纳米纤维薄膜材料。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：M为金属Ag、Sn或Ni。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述Ti-M合金薄膜按原子百分比的成分为TixM100-x，50x70。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述多层薄膜的层数为5层或7层，且底层和顶层皆为Ti-M合金薄膜层。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述Ti-M合金薄膜层采用电子束与电阻复合热蒸发法沉积，所述M单一金属薄膜层采用电阻热蒸发法沉积。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述NaOH溶液的浓度为1mol/L。
7.一种权利要求1～6中任意一项所述制备方法所制得的一维有序结构的金属氧化物纳米纤维薄膜材料。
8.根据权利要求7所述的金属氧化物纳米纤维薄膜材料，其特征在于：所述金属氧化物纳米纤维薄膜材料形貌上具有自衬底向上方向性生长的规则排列特征。
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