[发明专利]双向阈值对称的选通器及其制备方法有效
申请号: | 202110677821.9 | 申请日: | 2021-06-18 |
公开(公告)号: | CN113517402B | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | 王晨;张卫;黄阳;唐灵芝 | 申请(专利权)人: | 复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司 |
主分类号: | H01L51/10 | 分类号: | H01L51/10;H01L51/30;H01L51/05;H01L51/40 |
代理公司: | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人: | 黄海霞 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双向 阈值 对称 选通器 及其 制备 方法 | ||
1.一种制备方法,所述制备方法用于制备双向阈值对称的选通器,其特征在于,包括步骤:
S1:通过真空热蒸发工艺,在衬底的顶面上沉积第一银电极和第二银电极,其中,所述第一银电极设置于所述衬底顶面的第一端,所述第二银电极设置于所述衬底顶面的第二端;
S2:配制有机无机杂化钙钛矿溶液;
S3:对步骤S1中的所述沉积第一银电极和第二银电极的衬底进行紫外臭氧处理;
S4:通过旋涂工艺对所述有机无机杂化钙钛矿溶液进行旋涂,形成钙钛矿薄膜。
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中,所述配制有机无机杂化钙钛矿溶液包括:
将0.4~0.8 mmol的碘甲脒、0.7~0.15 mmol的溴甲胺、0.4~1 mmol的碘化铅、0.02~0.05mmol 的溴化铅溶解于混合溶液中,得到溶液A;所述混合溶液由二甲基甲酰胺和二甲基亚砜以4比1的体积比例混合而成,所述混合溶液的体积为1 mL;
将0.5~1.5 mmol的碘化铯溶解于1 mL的二甲基亚砜溶液中,得到溶液B;
将溶液A和溶液B分别在45~70 ℃的温度条件下搅拌1~2 h后,使用0.22 μm的过滤器分别过滤所述溶液A和溶液B,去除所述溶液A和溶液B中的大颗粒,获得过滤后的溶液A和过滤后的溶液B;
在室温条件下,取50~100 μL所述过滤后的溶液B加入所述过滤后的溶液A,得到所述有机无机杂化钙钛矿溶液。
3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中,所述对步骤S1中的所述沉积第一银电极和第二银电极的衬底进行紫外臭氧处理包括,将所述沉积第一银电极和第二银电极的衬底放置在通有氧气的紫外光照设备中15~30 min。
4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S4中,所述通过旋涂工艺对所述有机无机杂化钙钛矿溶液进行旋涂在惰性气体环境中进行。
5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S4中,所述通过旋涂工艺对所述有机无机杂化钙钛矿溶液进行旋涂包括步骤:
在所述衬底的顶面上滴加有机无机杂化钙钛矿溶液,并将有机无机杂化钙钛矿溶液涂抹均匀;
进行第一旋涂操作,开启匀胶机,使匀胶机的转盘以500~1000 rpm/s的加速度加速到1000 rpm的转速后,旋涂有机无机杂化钙钛矿溶液5~15s;
进行第二旋涂操作,在所述第一旋涂操作结束时,使匀胶机的转盘以1000 rpm/s的加速度加速到9000~11000 rpm的转速后,旋涂有机无机杂化钙钛矿溶液20~30 s;
在第二旋涂操作结束前3~10 s时,滴加反溶剂氯苯,使有机无机杂化钙钛矿溶液快速结晶;
在100~120 ℃的温度条件下进行退火处理,退火处理的时间为30~50min,退火处理结束后,得到钙钛矿薄膜。
6.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述滴加反溶剂氯苯包括,在每2.25 cm2的所述衬底上滴加50~80 μL的反溶剂氯苯。
7.一种双向阈值对称的选通器,采用权利要求1至6任一项所述制备方法制作而成,其特征在于,包括衬底、第一银电极、阻变层和第二银电极,所述阻变层设置于所述衬底顶面的中部,所述第一银电极设置于所述衬底顶面的第一端,所述第一银电极与所述阻变层的左侧连接,所述第二银电极设置于所述衬底顶面的第二端,所述第二银电极与所述阻变层的右侧连接;所述阻变层的组成材料为有机无机杂化钙钛矿。
8.如权利要求7所述的双向阈值对称的选通器,其特征在于,所述衬底的组成材料为聚萘二甲酸乙二醇酯。
9.如权利要求7所述的双向阈值对称的选通器,其特征在于,所述阻变层的左侧面的长度与所述第一银电极的右侧面长度一致,所述阻变层的厚度不小于所述第一银电极的厚度;所述阻变层的右侧面长度与所述第二银电极的左侧面长度一致,所述阻变层的厚度不小于所述第二银电极的厚度。
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