[发明专利]一种薄膜材料激光损伤的识别方法及装置

权利要求书

1.一种薄膜材料激光损伤的识别方法，其特征在于：是对薄膜施加强激光，一旦薄膜发生损伤，将导致等效厚度发生了变化，通过测量激光辐照前后的样品振荡周期(或频率)，从而确定薄膜是否损伤。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜材料激光损伤的识别方法，其特征在于：方法为：首先测试镀有薄膜的石英晶体样品的初始振荡频率或者周期，然后测试样品表面受到高能激光辐照后振荡频率或者周期的变化，最后对高能激光脉冲作用前后，样品振荡频率或者周期的变化进行判断，确定测试样品是否发生了损伤。

3.一种薄膜材料激光损伤的识别方法采用的识别装置，其特征在于：包括激光器和数据处理组件，激光器的出射光路依次设置扩束准直系统、衰减器，聚焦镜，和二维样品台，所述二维样品台上设置垂直于光路的测试样品，测试样品为镀制在石英晶体上的薄膜材料，石英晶片上下两个表面预先制备有上下电极，其中下表面镀制的电极完全覆盖整个晶片表面，上表面中心位置镀制薄膜材料，环形电极镀制在石英晶片最大口径处。

4.根据权利要求3所述的一种薄膜材料激光损伤的识别方法采用的识别装置，其特征在于：所述石英晶体上表面的电极宽度为1～3mm。

5.根据权利要求3或4所述的一种薄膜材料激光损伤的识别方法采用的识别装置，其特征在于：所述高能激光器为高能量脉冲激光器，波长为532nm或1064nm，脉宽为10ns，束斑单脉冲能量为400mJ。

6.根据权利要求5所述的一种薄膜材料激光损伤的识别方法采用的识别装置，其特征在于：所述衰减器由4组5片中性密度吸收玻璃组成，其玻璃表面两侧镀制有1064nm减反射膜。

7.根据权利要求6所述的一种薄膜材料激光损伤的识别方法采用的识别装置，其特征在于：所述石英晶片表面的电极与数据处理组件连接，所述数据处理组件包括依次相接的处理电路、模数A/D转换器和计算机。

8.根据权利要求3所述的一种薄膜材料激光损伤的识别方法采用的识别装置，其特征在于：所述衰减器和二维工作台等均采用伺服电机驱动。激光器的脉冲发射指令由计算机程序控制。

9.根据权利要求7所述的一种薄膜材料激光损伤的识别方法采用的识别装置，其特征在于：所述会聚透镜焦距为120-150mm。