[发明专利]一种智能可控等离子火焰装置

说明书

本发明提供一种智能可控等离子火焰装置，包括阴极铜、阴极套、绝缘板、阳极套、阳极压板、阳极铜和线圈控制器，阴极铜的下端设置有钨极；阴极套套设于阴极铜的外周，并与阴极铜滑动配合；绝缘板套设于阴极铜的外周，且位于阴极套的下方；阳极压板设置于绝缘板的底部，阳极压板的上端口与阴极套连接，阳极压板的下端口套设于阳极套上端口的内部，并与阳极套的上端口密封配合，阳极压板与阴极套围成一个空腔。通过在阳极铜的外周设置电磁线圈，电磁线圈通电时会产生磁场，磁场可控制等离子体的发散程度；通过线圈控制器控制电磁线圈的电流可改变磁场的方向、大小、位置等，进而对等离子火焰进行控制。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种智能可控等离子火焰装置。

背景技术

随着半导体行业的日益繁荣，产能激增，在生产过程中会产生各种废气，这些气体大多对人体和环境危害严重。因此废气处理设备市场需求量非常大，不过由于半导体厂商内部设施及环境的不一样，废气处理设备也对各类实用的专用装置有较大需求。

热等离子的产生方法有火花放电、电弧放电、射频放电、高频耦合放电、微波放电等五种，热等离子体除用于材料加工外，也用于废气、废液和固体废物的处理。等离子火炬由阴极和阳极之间放电，工作气体流过放电区域在强大电流作用下发生电离，形成等离子体，等离子体在工作气体的推动下从喷火口喷射出形成超高温喷射流火焰。利用等离子火焰的超高温度为待处理废气和相关反应气体提供热能，将废气中的有机物或者卤化物转化为二氧化碳、水等无机小分子物质。

等离子反应过程中温度高，反应速度快，对设备表面腐蚀性较大，造成设备使用寿命短。同时，现有的等离子火焰装置等离子火焰的形状和方向无法控制，进一步缩短设备的使用寿命。

发明内容

本发明提供一种智能可控等离子火焰装置，用以解决现有技术中智能可控等离子火焰装置存在等离子火焰的形状和方向无法控制，以及设备使用寿命短的问题。

本发明提供一种智能可控等离子火焰装置，包括阴极铜、阴极套、绝缘板、阳极套、阳极压板、阳极铜和线圈控制器，所述阴极铜的下端设置有钨极；所述阴极套套设于所述阴极铜的外周，并与所述阴极铜滑动配合；所述绝缘板套设于所述阴极铜的外周，且位于所述阴极套的下方；所述阳极压板设置于所述绝缘板的底部，所述阳极压板的上端口与所述阴极套连接，所述阳极压板的下端口套设于所述阳极套上端口的内部，并与所述阳极套的上端口密封配合，所述阳极压板与所述阴极套围成一个空腔；所述阳极铜设置于所述空腔内，所述阳极铜的上端与所述阳极压板的上端口密封配合，所述阳极铜的下端与所述阳极套的下端口密封配合，所述阳极铜的外周设置有电磁线圈，所述线圈控制器与所述电磁线圈电连接。

根据本发明提供的一种智能可控等离子火焰装置，所述智能可控等离子火焰装置还包括安装法兰，所述安装法兰套设于所述阳极套下端口的外部，所述安装法兰的内部设置有环形空腔。

根据本发明提供的一种智能可控等离子火焰装置，所述智能可控等离子火焰装置还包括电源控制器和控制器，所述电源控制器分别与所述阴极铜、所述阳极铜电连接，所述控制器分别与所述电源控制器、所述线圈控制器电连接。

根据本发明提供的一种智能可控等离子火焰装置，所述智能可控等离子火焰装置还包括阴极驱动装置，所述阴极驱动装置包括丝杆电机和丝杆螺母，所述丝杆电机与所述控制器电连接，所述丝杆电机与所述阴极套连接，所述丝杆螺母与所述阴极铜连接，所述丝杆螺母与所述丝杆电机的丝杆螺纹配合。

根据本发明提供的一种智能可控等离子火焰装置，所述阴极驱动装置还包括位置传感器，所述位置传感器设置于所述阴极铜，所述位置传感器与所述控制器电连接，所述位置传感器用于检测所述阴极铜的移动距离。

根据本发明提供的一种智能可控等离子火焰装置，所述阳极铜的内部设置有从上至下依次连通的缩口段、连接段和火焰通道，所述缩口段的内径从上至下逐渐减小，所述缩口段上端口的边沿间隔设置有多个出气孔，所述阳极压板设置有与所述出气孔连通的进气接口。