[发明专利]选通器及其制备方法在审
申请号: | 202110680038.8 | 申请日: | 2021-06-18 |
公开(公告)号: | CN113421965A | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 王晨;张卫;黄阳;唐灵芝 | 申请(专利权)人: | 复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司 |
主分类号: | H01L51/10 | 分类号: | H01L51/10;H01L51/30;H01L51/05;H01L51/40 |
代理公司: | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人: | 黄海霞 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 选通器 及其 制备 方法 | ||
1.一种选通器,其特征在于,包括底电极、阻变层和顶电极,所述阻变层固定于所述底电极上,所述顶电极固定于所述阻变层上;
所述底电极的组成材料为ITO导电玻璃,所述阻变层为钙钛矿薄膜,所述顶电极的组成材料为银。
2.如权利要求1所述的选通器,其特征在于,所述钙钛矿薄膜通过低温溶液旋涂法制得。
3.一种制备方法,所述制备方法用于制备权利要求1-2任一项所述的选通器,其特征在于,包括步骤:
S1:清洗ITO导电玻璃;
S2:配制有机无机杂化钙钛矿溶液;
S3:通过旋涂工艺将所述有机无机杂化钙钛矿溶液旋涂于所述ITO导电玻璃上,形成钙钛矿薄膜;
S4:通过真空蒸发工艺在所述钙钛矿薄膜上沉积银电极。
4.如权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中,所述清洗ITO导电玻璃包括,将所述透明的ITO导电玻璃放置于紫外线光照射仪器中,用紫外光照射所述ITO导电玻璃的表面10-30分钟。
5.如权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中,所述配制有机无机杂化钙钛矿溶液包括步骤:
S20:将1.2~1.8mmol的碘甲脒、0.2~0.4mmol的溴甲胺、1~2.5mmol的碘化铅和0.05~0.15mmol的溴化铅溶解于混合溶液中,所述混合溶液体积为1ml,且所述混合溶液由二甲基甲酰胺和二甲基亚砜以4比1体积比例混合而成,得到溶液A;
S21:将2~4mmol的碘化铯溶解于1mL的二甲基亚砜溶液中,得到溶液B;
S22:将所述溶液A和所述溶液B分别在50~70℃条件下搅拌1~2h后,分别使用0.22μm的过滤器过滤所述溶液A和所述溶液B,获得淡黄色的溶液A和无色透明的溶液B。
S23:在室温条件下,将过滤后的溶液B加入过滤后的溶液A中,得到有机无机杂化钙钛矿溶液。
6.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S23中,所述将过滤后的溶液B加入过滤后的溶液A中包括,在每1mL所述过滤后的溶液A中添加30~80μL所述过滤后的溶液B。
7.如权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中,所述制备钙钛矿薄膜在惰性气体环境下进行。
8.如权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中,所述通过有机无机杂化钙钛矿溶液制备钙钛矿薄膜,使所述钙钛矿薄膜覆盖在所述ITO导电玻璃上包括步骤:
S30:在所述ITO导电玻璃的导电面上滴加有机无机杂化钙钛矿溶液,并将所述有机无机杂化钙钛矿溶液涂抹均匀;
S31:进行旋涂操作。
9.如权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S30中,在所述ITO导电玻璃的导电面上滴加有机无机杂化钙钛矿溶液包括,在所述ITO导电玻璃的每2.25cm2的导电面上滴加15~35μL的所述有机无机杂化钙钛矿溶液。
10.如权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S31中,所述进行旋涂操作包括步骤:
S310:开启匀胶机进行旋涂,使匀胶机以500~1000rpm/s的加速度加速到1000rpm后,对所述有机无机杂化钙钛矿溶液进行旋涂5~15s;
S311:匀胶机继续以1000rpm/s的加速度加速到5000~7000rpm后,对所述有机无机杂化钙钛矿溶液进行旋涂20~30s;
S312:在所述步骤S311结束前的3~10s内,在所述ITO导电玻璃的每2.25cm2的导电面上滴加80~120μL的反溶剂氯苯,使得所述有机无机杂化钙钛矿溶液快速结晶,然后在100~120℃的温度条件下对所述ITO导电玻璃进行30~50分钟的退火处理,得到所述钙钛矿薄膜。
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