[发明专利]一种高纯电子级氯气纯化生产装置及其工艺

权利要求书

1.一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：包括液氯储罐(1)、汽化器(2)、氯水洗涤塔(3)、冷凝塔(4)、吸附器(5)、脱轻精馏塔(6)、脱重精馏塔(7)、膜压机(8)、过滤器(9)和收集瓶(10)，所述液氯储罐(1)连通于汽化器(2)，所述汽化器(2)通过氯水洗涤塔(3)连通于冷凝塔(4)，所述冷凝塔(4)通过吸附器(5)连通于所述脱轻精馏塔(6)，所述脱轻精馏塔(6)连接所述脱重精馏塔(7)，所述脱重精馏塔(7)通过膜压机(8)连通于所述收集瓶(10)，所述膜压机(8)与收集瓶(10之间连接有过滤器(9)。

2.如权利要求1所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：所述氯水洗涤塔(3)和吸附器(5)均设置有两组。

3.如权利要求1所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：所述氯水洗涤塔(3)包括塔釜(11)、循环泵(22)和洗涤管(12)，所述洗涤管(12)安装在塔釜(11)的上部，所述洗涤管(12由下至上依次设置有第一填料层(13)、第二填料层(14)、除雾层(15)和冷凝层(16)。

4.如权利要求3所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：所述塔釜(11)的下部与洗涤管(13)的上部在除雾层(15下之间连通循环泵(22)。

5.如权利要求3所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：所述洗涤管(12)在第一填料层(13)的下部侧边设置有未净化氯气入口(17)，所述洗涤管(12)的顶端设置有净化后氯气出口(18)。

6.如权利要求3所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：所述塔釜(11)的侧边设置有液位计(19)。

7.如权利要求1-6任一所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置的工艺，其特征在于：其生产工艺流程：

S1、液氯从液氯储罐(1)底部流出进入汽化器(2)气化后，进入到氯水洗涤塔(3)洗涤除去第一杂质物；

S2、洗涤后的氯气进入冷凝塔(4)并冷凝到X℃，脱去大部分水分，然后进入吸附器(5)脱去全部水分；

S3、脱去水分后通过脱轻精馏塔(6)除去第二杂质物；

S4、通过脱重精馏塔(7)除去第三杂质物；

S5、除去杂物后通过过滤器(9)过滤后的氯气，在膜压机(8)作用下充入收集瓶(10)。

8.如权利要求7所述的一种高纯电子级氯气纯化生产工艺，其特征在于：所述第一杂质物包括有三氯化氮、金属、非金属氯化物和颗粒物，所述第二杂质物包括氮气、氧气、氢气、一氧化碳、甲烷和二氧化碳，所述第三杂质物包括三氯化氮、高级烷烃和氯化物。

9.如权利要求7所述的一种高纯电子级氯气纯化生产工艺，其特征在于：其中X为-10至-20。

10.如权利要求7所述的一种高纯电子级氯气纯化生产工艺，其特征在于：所述吸附器填充有吸附剂，其中吸附剂为氧化铝、3A分子筛、4A分子筛、5A分子筛和13X分子筛的一种或其中几种混合。