[发明专利]一种具有钝化接触的太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种具有钝化接触的太阳能电池，其特征在于，所述的太阳能电池包括衬底，所述衬底的背面依次层叠设置有背面隧穿氧化层、背面钝化薄膜和背面减反层，所述的背面减反层表面形成背面金属栅线，所述的背面金属栅线与背面钝化薄膜接触；

所述衬底的正面分为金属接触区和非金属接触区，所述的金属接触区依次层叠设置有正面隧穿氧化层、正面钝化薄膜和正面减反层，所述的正面减反层表面形成正面金属栅线，所述的正面金属栅线与正面钝化薄膜钝化接触。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述的正面钝化薄膜和正面非金属接触区的表面依次层叠设置有磷扩散层和正面减反层。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述的正面钝化薄膜和正面非金属接触区的表面依次层叠设置有磷扩散层、氧化层和正面减反层。

4.根据权利要求1-3任一项所述的太阳能电池，其特征在于，所述的衬底为n型硅片或p型硅片。

5.根据权利要求1-4任一项所述的太阳能电池，其特征在于，所述的正面钝化薄膜为磷掺杂多晶硅层。

6.根据权利要求1-5任一项所述的太阳能电池，其特征在于，所述的背面钝化薄膜为硼掺杂多晶硅层、SiC_x或MoO_x。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池，其特征在于，所述的背面钝化薄膜为硼掺杂多晶硅层。

8.一种权利要求1-7任一项所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述的制备方法包括：

硅片经抛光和制绒后，在硅片背面依次制备背面隧穿氧化层、背面钝化薄膜和背面减反层，在背面减反层表面印刷形成背面金属栅线，使得背面金属栅线与背面钝化薄膜形成钝化接触；

在硅片正面依次制备正面隧穿氧化层和正面钝化薄膜，对处于金属接触区的正面隧穿氧化层和正面钝化薄膜进行遮挡，刻蚀去除非金属接触区的正面隧穿氧化层和正面钝化薄膜，在正面钝化薄膜和非金属接触区的表面制备正面减反层，在正面减反层表面印刷形成正面金属栅线，使得正面金属栅线与正面钝化薄膜形成钝化接触。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述的制备方法还包括：

在正面钝化薄膜和非金属接触区的表面进行磷扩散，随后经退火处理形成前表面场，在前表面场表面沉积正面减反层，在正面减反层表面印刷形成正面金属栅线，所述的正面金属栅线与正面钝化薄膜形成钝化接触。

10.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述的制备方法还包括：

在正面钝化薄膜和非金属接触区进行磷扩散，正面钝化薄膜和磷扩散层的表面依次沉积形成氧化层和正面减反层，在正面减反层表面印刷形成正面金属栅线，所述的正面金属栅线仅与正面钝化薄膜形成接触。