[发明专利]一种硫化铜/氧化锌异质结柔性透明自驱动紫外光电探测器

权利要求书

1.一种硫化铜/氧化锌异质结柔性透明自驱动紫外光电探测器，其特征在于：由内至外依次包括衬底、硫化铜/氧化锌p-n异质结活性层和电极层；

所述衬底上喷涂有网格结构的硫化铜/氧化锌p-n异质结活性层，

所述硫化铜/氧化锌p-n异质结活性层为硫化铜/氧化锌p-n异质结纳米线喷涂在柔性透明衬底表面以形成的网格结，所述硫化铜/氧化锌p-n异质结纳米线通过将铜纳米线加入乙醇的硫饱和溶液后进行液相加热制备得具有p型硫化铜层，并在p型硫化铜层表面生长n型分支状氧化锌层纳米线阵列而获得；

所述硫化铜/氧化锌p-n异质结活性层上通过掩膜板图案化喷涂沉积的叉指结构形成电极层，最终获得自驱动柔性透明紫外光电探测器器件。

2.根据权利要求1所述的硫化铜/氧化锌异质结柔性透明自驱动紫外光电探测器，其特征在于：所述衬底为透明柔性材料制成，所述透明柔性材料包括PET、PDMS、PI和TPU。

3.根据权利要求1所述的硫化铜/氧化锌异质结柔性透明自驱动紫外光电探测器，其特征在于：所述p型硫化铜层为薄膜或纳米线结构。

4.根据权利要求1所述的硫化铜/氧化锌异质结柔性透明自驱动紫外光电探测器，其特征在于：所述p型硫化铜层的厚度为0.3-1 μm；n型氧化锌层为分支状纳米线阵列结构，通过水热法在硫化铜层表面生长制备，厚度为0.2-0.6 μm。

5.根据权利要求1所述的硫化铜/氧化锌异质结柔性透明自驱动紫外光电探测器，其特征在于：所述硫化铜/氧化锌p-n异质结活性层为纳米线网格结构，通过喷涂技术沉积于柔性透明衬底表面，厚度为1-2 μm，透光度85%。

6.根据权利要求1所述的硫化铜/氧化锌异质结柔性透明自驱动紫外光电探测器，其特征在于：所述电极层为叉指结构柔性透明导电薄膜，其方阻为2-25Ω.sq^–1。

7.根据权利要求6所述的硫化铜/氧化锌异质结柔性透明自驱动紫外光电探测器，其特征在于：所述叉指结构柔性透明导电薄膜通过掩膜板在硫化铜/氧化锌p-n异质结活性层表面图案化喷涂沉积制备；柔性透明导电薄膜中导电材料为金纳米线、银纳米线、铜纳米线或碳纳米管。