[发明专利]一种镀膜厚度光学控制装置和方法

权利要求书

1.一种镀膜厚度光学控制装置，其特征在于，包括两个及以上不同波长的激光器、用于不同波长激光分束和合束的分光元件、散射板、驱动电机、第一多模光纤、第二多模光纤、光功率计、光控测试片、以及镀膜夹具，所述镀膜夹具带有透光通孔以及用于夹持光控测试片的孔；镀膜夹具在驱动电机驱动下旋转，进入镀膜机的准相干光照射到镀膜夹具，在不同时刻分别通过透光通孔和光控测试片；

所述激光器发射的激光经第一组分光元件合束，合束后的激光照射到由驱动电机驱动而转动的散射板上，形成准相干光，通过第一透镜聚焦准相干光到第一多模光纤入口，第一多模光纤将准相干光传输至镀膜机，经第二透镜准直后，入射到位于镀膜机内部的光控测试片上，经光控测试片的透射光再经第三透镜聚焦进入第二多模光纤，在第二多模光纤出口经第四透镜准直、第二组分光元件分光后进入不同的光功率计。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜厚度光学控制装置，其特征在于，还包括透镜组，设置于所述激光器和第一组分光元件之间，激光器发射的激光经所述透镜组调整光束特征后再经第一组分光元件合束。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜厚度光学控制装置，其特征在于，还包括一个或多个平面反射元件，用于调整光路传播方向。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜厚度光学控制装置，其特征在于，还包括光阑，设置于散射板和第一透镜之间，准相干光经过光阑屏蔽不需要的杂散光后，由第一透镜聚焦到第一多模光纤入口。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜厚度光学控制装置，其特征在于，对任一波长的准相干光，I为对应光功率计测量的通过光控测试片的光强，I₀为对应光功率计测量的通过透光通孔的光强，光控测试片在对应波长的透射率T_m为I与I₀的比值。

6.根据权利要求5所述的一种镀膜厚度光学控制装置，其特征在于，对任一波长的准相干光，通过光控测试片上的光强I和通过透光通孔的光强I₀通过比较光功率计测量的光强大小区分，在镀膜夹具的一个转动周期中，两个光强中的较大光强对应于通过透光通孔的光强I₀，较小光强对应于通过光控测试片的光强I。