[发明专利]非圆形基板的电镀装置及电镀方法

权利要求书

1.一种非圆形基板的电镀装置，其特征在于，包括：

中心电极区，中心电极区呈圆形，中心电极区的尺寸是所述非圆形基板的内切圆，中心电极区中设置中心电极，中心电极填满中心电极区；

周边电极区，周边电极区围绕中心电极区，周边电极区的外周尺寸是所述非圆形基板的外切圆，周边电极区中设置紧密排列的点状电极，点状电极填充周边电极区；

电源装置，电源装置连接到中心电极和点状电极，为中心电极以及点状电极供电；

控制装置，控制装置连接在电源装置和中心电极以及点状电极之间，控制装置控制中心电极以及点状电极的开闭，控制装置跟踪所述基板的转动位置，使得中心电极区和周边电极区中由基板所覆盖的区域中的电极开启，未被基板所覆盖的区域中的电极关闭，电极跟随基板的转动而开启或关闭。

2.如权利要求1所述的非圆形基板的电镀装置，其特征在于，所述中心电极始终被基板所覆盖，所述周边电极区中被基板所覆盖的点状电极确定如下：

确定非圆形基板的每一个顶角相对于圆心的位置；

对于每一个顶角，根据组成该顶角的两条侧边确定张开角度；

检测基板的转动位置，根据转动位置确定基板的各个顶角的位置，所述顶角位于周边电极区的外侧圆周上；

以各个顶角为起点，依据各个顶角的张开角度确定周边电极区中的投影区域，落在所述投影区域中的点状电极为被基板所覆盖的点状电极。

3.如权利要求2所述的非圆形基板的电镀装置，其特征在于，所述控制装置包括：

角度传感器，角度传感器跟踪基板的转动角度；

投影模拟器，投影模拟器根据基板的转动角度，确定各个顶角的位置，并且根据顶角和张开角度确定周边电极区中的投影区域；

开关装置，开关装置连接在周边电极区的点状电极和电源装置之间，开关装置将当前位于投影区域中的点状电极打开，将当前不处于投影区域中的点状电极关闭。

4.如权利要求1所述的非圆形基板的电镀装置，其特征在于，所述中心电极是：

单个圆形电极，单个圆形电极单独填满中心电极区；或者

数个块状电极，数个块状电极组合形成圆形并填满中心电极区；或者

数个环形电极，数个环形电极组合形成圆形并填满中心电极区。

5.如权利要求4所述的非圆形基板的电镀装置，其特征在于，所述周边电极区为数个，数个周边电极区呈同心的环形，数个周边电极区从中心电极区开始依次向外围绕，其中最外侧的周边电极区的尺寸是所述非圆形基板的外切圆。

6.如权利要求5所述的非圆形基板的电镀装置，其特征在于，所述电源装置包括中心区电源和数个周边区电源，中心区电源为中心电极供电，各个周边区电源分别为各自对应的周边电极区中的点状电极供电，每一周边电极区具有各自的周边区电源和开关装置。

7.如权利要求5所述的非圆形基板的电镀装置，其特征在于，所述电源装置包括中心区电源和周边区电源，中心区电源为中心电极供电，周边区电源为所有的周边电极区中的点状电极供电，每一周边电极区具有各自的开关装置，但共用同一个周边区电源。

8.如权利要求5所述的非圆形基板的电镀装置，其特征在于，所述电源装置同时为中心电极和所有的周边电极区中的点状电极供电，每一周边电极区具有各自的开关装置，但所有的周边电极区以及中心电极共用同一个电源装置。

9.如权利要求5所述的非圆形基板的电镀装置，其特征在于，围绕中心电极区依次设置三个周边电极区，所述点状电极是圆形、方形、六边形或者圆弧形的电极。