[发明专利]探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法

权利要求书

1.一种探针显微镜，具有：

悬臂，其具有探针；

第一激光器，其射出要向所述悬臂入射的第一激光；

摄像装置，其拍摄所述悬臂的图像和所述第一激光的图像；

无限远光学系统，其形成于所述悬臂与所述摄像装置之间，供所述第一激光入射；

移动机构，其使所述第一激光与所述悬臂的相对位置变化；

第一转动部，其使所述第一激光器转动，使所述第一激光相对于所述无限远光学系统的第一入射角变化；以及

控制部，其控制所述移动机构和所述第一转动部的动作，

所述控制部根据在所述无限远光学系统中由所述第一激光产生的第一幻影光的第一幻影光像的位置，在所述摄像装置所拍摄到的图像中取得所述第一激光的第一激光像的位置，

所述控制部驱动所述移动机构和所述第一转动部中的至少一方，以使所述第一激光像的位置接近所述悬臂的规定位置。

2.根据权利要求1所述的探针显微镜，其中，

所述探针显微镜还具有存储部，该存储部存储第一关系式，该第一关系式将所述第一幻影光像与所述第一激光像的第一相对位置表示为所述第一入射角的函数，

所述控制部将所述第一入射角代入所述第一关系式而获取所述第一相对位置，根据所述第一幻影光像在所述摄像装置所拍摄到的图像中的位置和所述第一相对位置获取所述第一激光像的位置。

3.根据权利要求2所述的探针显微镜，其中，所述探针显微镜还具有：

第二激光器，其射出要向所述悬臂入射的第二激光；以及

第二转动部，其使所述第二激光器转动，使所述第二激光相对于所述无限远光学系统的第二入射角变化，

所述移动机构使所述第一激光以及所述第二激光与所述悬臂的相对位置变化，

所述存储部存储第二关系式，该第二关系式将在所述无限远光学系统中由所述第二激光产生的第二幻影光的第二幻影光像与所述第二激光的第二激光像的第二相对位置表示为所述第二入射角的函数，

所述控制部从所述摄像装置所拍摄的图像获取所述第一幻影光像和所述第二幻影光像的幻影光相对位置，

所述控制部将所述第一入射角代入所述第一关系式，获取所述第一相对位置，

所述控制部将所述第二入射角代入所述第二关系式，获取所述第二相对位置，

所述控制部根据所述幻影光相对位置、所述第一相对位置和所述第二相对位置获取所述第一激光像与所述第二激光像的激光相对位置，

所述控制部驱动所述移动机构、所述第一转动部以及所述第二转动部中的至少一个，以使所述激光相对位置接近规定相对位置。

4.根据权利要求3所述的探针显微镜，其中，

所述第一激光器是射出在所述悬臂的位移计测中使用的计测用激光的计测用激光器，

所述第二激光器是射出在所述悬臂的激励中使用的激励用激光的激励用激光器。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的探针显微镜，其中，

所述探针显微镜还具有支承所述悬臂的臂支承部，

调整所述第一幻影光像的位置，使得在所述摄像装置所拍摄的图像中所述第一幻影光像与所述臂支承部重叠。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的探针显微镜，其中，

该探针显微镜还具有选择部件，该选择部件选择出由所述摄像装置拍摄的所述第一幻影光。

7.根据权利要求1～5中的任意一项所述的探针显微镜，其中，

所述控制部根据所述摄像装置所拍摄的图像中的多个所述第一幻影光像的代表位置获取所述第一激光像的位置。

8.根据权利要求1～7中的任意一项所述的探针显微镜，其中，

所述探针显微镜还具有：

物镜，其对从所述无限远光学系统射出的所述第一激光进行会聚；以及

物镜更换机构，其将所述物镜保持为能够更换。