[发明专利]一种用于核酸检测的微流控芯片及其制作方法

权利要求书

1.一种用于核酸检测的微流控芯片，包括盖片(1)和基片(2)，所述盖片(1)设置在基片(2)上，所述盖片(1)上设置有多条微流道(3)，其特征在于：每条微流道(3)中包括有放大芯片微流道(4)和传感芯片微流道(5)；

所述放大芯片微流道(4)包括进液口(41)、出液口(42)、电容耦合微流道(43)、有机半导体微流道(44)；

所述传感芯片微流道(5)包括进液口(51)和出液口(52)；

所述基片(2)由下到上依次设置有基底(21)、电极导线层(22)、绝缘层(23)、微电极层(24)，在微电极层(24)和有机半导体微流道(44)中均设置有至少一个放大芯片组件(6)、至少一个传感芯片组件(7)、PAD电极(8)、金属导线(9)、驱动电极(10)；

所述驱动电极(10)分别通过绝缘层(23)上设置的通孔及通孔内的电极引线与PAD电极(8)相连，所述PAD电极(8)设置在盖片(1)的外部。

2.根据权利要求1所述的一种用于核酸检测的微流控芯片，其特征在于：所述放大芯片组件(6)包括有机半导体膜(61)和第一微电极组，所述第一微电极组包括源极(62)、漏极(63)、栅极(64)，所述有机半导体膜(61)设置在源极(62)和漏极(63)的上侧，所述有机半导体膜(61)覆盖源极(62)、漏极(63)的导电延伸端，同时栅极(64)不与源极(62)、漏极(63)、有机半导体膜(61)相连；

所述驱动电极(10)、源极(62)和漏极(63)的导电延伸端浸没在放大芯片微流道内。

3.根据权利要求2所述的一种用于核酸检测的微流控芯片，其特征在于：所述传感芯片微流道(5)和传感芯片组件(7)的内部均设置有包括控制栅极(71)和浮动栅极(72)，所述控制栅极(71)上沉积有pH敏感材料；所述控制栅极(71)和浮动栅极(72)之间还设置有介电材料，所述介电材料能够实现在控制栅极(71)与介电材料、浮动栅极(72)与介电材料之间形成界面电容；

所述浮动栅极(72)还通过金属导线(9)与栅极(64)连接；

所述源极(62)、漏极(63)、控制栅极(71)分别通过绝缘层(23)上设置的通孔及通孔内的电极引线与PAD电极(8)相连。

4.根据权利要求3所述的一种用于核酸检测的微流控芯片，其特征在于：在基底(21)的上侧设置有电极导线层(22)，所述绝缘层(23)覆盖在电极导线层(22)和基底(21)的上侧，所述微电极层(24)覆盖在绝缘层(23)的上侧；

所述电极导线层(22)包括多个互不相连的电极导线，具体包括：控制栅极导线(221)、源极导线(222)、漏极导线(223)、驱动电极导线(224)；

所述PAD电极(8)包括：控制栅极PAD电极、源极PAD电极、漏极PAD电极、驱动电极PAD电极；

所述控制栅极(71)通过控制栅极导线(221)与控制栅极PAD电极相连；

所述驱动电极(10)通过驱动电极导线(224)与驱动电极PAD电极相连；

所述源极(62)通过源极导线(222)与源极PAD电极相连；

所述漏极(63)通过漏极导线(223)与漏极PAD电极相连。

5.根据权利要求2所述的一种用于核酸检测的微流控芯片，其特征在于：所述驱动电极(10)与漏极(63)之间的距离设置为W₁；

所述栅极(64)与源极(62)、栅极(64)与漏极(63)之间的距离设置为W₂；

所述源极(62)与漏极(63)之间的距离设置为W₃；

则要求所述第一微电极组之间在垂直方向的距离W₄满足W₄＞W₁＝A*W₂＝B*W₃，且1＜A＜B，能够保证只在源极(62)、漏极(63)之间沉积有机半导体膜(61)。