[发明专利]一种二维材料的转移方法有效
| 申请号： | 202110689750.4 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113264522B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 刘俊江;王焕明;许智;蒋晓磊 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;C01B21/064;C01B25/00;C01B32/198;C01B32/15;C01B35/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐菲 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二维 材料 转移 方法 | ||
1.一种二维材料的转移方法，其特征在于，包括以下步骤：
将生长基底有二维材料的一面与支撑层经胶层粘接，获得层状结构：所述生长基底/所述二维材料/所述胶层/所述支撑层；
保持所述胶层具有流动性的条件下，于刻蚀液中去除所述生长基底以获得层状结构：所述二维材料/所述胶层/所述支撑层；
于刻蚀液中去除所述生长基底后，所述刻蚀液中含有沸点低于所述胶层的固化温度的低沸点溶剂，在低于所述胶层的固化温度下加热，使所述低沸点溶剂转化为气态以撑开并消除所述二维材料的褶皱后，将所述二维材料背离所述支撑层的一面与目标基底结合，获得层状结构：目标基底/二维材料/胶层/支撑层；
去除所述支撑层及所述胶层，获得层状结构目标基底/二维材料，实现所述二维材料从所述生长基底转移至所述目标基底；
所述二维材料为石墨烯；
所述胶层的厚度为1-10μm。
2.根据权利要求1所述的转移方法，其特征在于，所述低沸点溶剂包括乙醇、甲醇中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的转移方法，其特征在于，所述在低于所述胶层的固化温度下加热采用的温度为35-50℃。
4.根据权利要求1所述的转移方法，其特征在于，所述胶层由液态聚合物涂覆所得。
5.根据权利要求4所述的转移方法，其特征在于，所述液态聚合物包括光刻胶。
6.根据权利要求4所述的转移方法，其特征在于，所述液态聚合物包括液态PMMA。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的转移方法，其特征在于，将所述二维材料与目标基底结合后，以及在剥离所述支撑层之前，所述方法还包括：在35-50℃加热0.5-1.5h。
8.根据权利要求1-6任意一项所述的转移方法，其特征在于，所述支撑层的面积大于所述胶层的涂覆面积。
9.根据权利要求8所述的转移方法，其特征在于，所述支撑层包括PP、PI、PS或PET中的至少一种。
10.根据权利要求1-6任意一项所述的转移方法，其特征在于，所述将生长基底有二维材料的一面与支撑层经胶层粘接的步骤包括：
先在所述二维材料上形成所述胶层，然后将所述支撑层粘接于所述胶层上。
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