[发明专利]一种用于准分子激光器的低抖动精确延时同步触发系统

权利要求书

1.一种用于准分子激光器的低抖动精确延时同步触发系统，其特征在于，包括：主控模块(2)、细延时模块(3)、第一时间间隔测量模块(5)；

所述主控模块(2)、第一时间间隔测量模块(5)分别对外部触发信号进行接收；

所述主控模块(2)用于对延时时间进行分配，分为粗延时时间和细延时时间；

所述主控模块(2)用于对外部触发信号进行粗延时，得到粗延时信号，并将粗延时信号发送给细延时模块(3)；

所述主控模块(2)将其主时钟信号发送给第一时间间隔测量模块(5)；

所述第一时间间隔测量模块(5)测量外部触发信号与主控模块(2)的主时钟信号之间的相位抖动，得到相位抖动数据，将相位抖动数据通过主控模块(2)发送给细延时模块(3)；

所述细延时模块(3)根据相位抖动数据对粗延时信号进行细延时，得到细延时信号。

2.根据权利要求1所述的一种用于准分子激光器的低抖动精确延时同步触发系统，其特征在于，还包括：第二时间间隔测量模块(6)；

所述第二时间间隔测量模块(6)对外部触发信号进行接收；

所述细延时模块(3)将细延时信号发送给第二时间间隔测量模块(6)；

所述第二时间间隔测量模块(6)测量外部触发信号与细延时信号之间的时间间隔，得到实际延时时间，并将实际延时时间发送给主控模块(2)；

所述主控模块(2)将实际延时时间与设定延时时间进行比较，得到延时误差，并根据该延时误差调节下一次的粗延时时间和/或细延时时间。

3.根据权利要求1所述的一种用于准分子激光器的低抖动精确延时同步触发系统，其特征在于，还包括：光电转换模块(1)；

所述光电转换模块(1)接收外部触发信号，用于对光信号形式的外部触发信号转换为电信号形式的外部触发信号，并将电信号形式的外部触发信号分别发送给主控模块(2)、第一时间间隔测量模块(5)。

4.根据权利要求1所述的一种用于准分子激光器的低抖动精确延时同步触发系统，其特征在于，还包括：电光转换模块(4)；

所述电光转换模块(4)与细延时模块(3)相连接，用于对电信号形式的细延时信号转换为光信号形式的细延时信号。

5.根据权利要求1所述的一种用于准分子激光器的低抖动精确延时同步触发系统，其特征在于，所述主控模块(2)对外部触发信号进行10ns步进的粗延时。

6.根据权利要求1所述的一种用于准分子激光器的低抖动精确延时同步触发系统，其特征在于，所述细延时模块(3)对粗延时信号进行10ps步进的细延时。

7.根据权利要求1所述的一种用于准分子激光器的低抖动精确延时同步触发系统，其特征在于，系统的工作过程如下所示：

S1，外部触发信号进入系统，通过第一时间间隔测量模块(5)对外部触发信号与主控模块(2)的主时钟信号之间的相位抖动进行测量，即对外部触发信号的上升沿与主控模块(2)的主时钟信号的上升沿之间的时间间隔进行测量，得到相位抖动数据即相位抖动的时间间隔；

S2，主控模块(2)将设定延时时间减去该相位抖动的时间间隔，得到待延时的延时时间，主控模块(2)根据该待延时的延时时间进行分配，分配粗延时时间和细延时时间；

S3，根据粗延时时间，利用主控模块(2)内部的计数器对外部触发信号进行粗延时，得到粗延时信号；

S4，根据细延时时间，利用细延时模块(3)对粗延时信号进行细延时，得到细延时信号。