[发明专利]多向控制阀装置

说明书

本发明涉及多向控制阀装置，控制阀有壳体，壳体具有内部空间，其内部空间包括：输入源、致动单元及至少一个作动区。经由输入源提供气体或流体传导至壳体内部空间，致动单元具有至少一个固定部及至少一个驱动部，作动区具有端口及作动元件，通过驱动部控制作动元件，经此对端口进行开启或关闭的控制。

技术领域

本发明是有关于一种阀装置，特别是指一种可多方向驱动的控制阀装置。

背景技术

近几年来，半导体制程等精密制造设备中，广泛采用利用压力式流量控制装置替代质量流控制器。此种压力式流量控制装置具备高抗蚀性、灰尘量少、气体置换性优良以及开关速度快等特点。压力式流量控制装置的驱动装置通常选用推力强，反应快速与控制特性优异的压电元件驱动装置，亦称压电致动器。

压电式驱动装置通过压电致动器控制机械运动，主要在压电致动器上施加电压，利用压电致动器带动机械进行运动，使被操纵元件进行挺杆或杠杆运动。目前，压电式驱动装置应用产业极为广泛、特别是生产技术领域，举凡电子周边商品制造、生医工程、航太、汽车电子、生物科技以及精密工具等各种产业。

发明内容

本发明涉及多向控制阀装置，通过壳体内部的致动单元搭配至少一个作动区，经此有效驱动输入源提供的气体或流体传导至对应端口。

本发明的多向控制阀装置，控制阀有壳体，壳体具有内部空间，其内部空间包括：输入源、致动单元及至少一个作动区。通过输入源提供气体或流体传导至壳体内部空间，致动单元具有至少一个固定部及至少一个驱动部，作动区具有端口及作动元件，通过驱动部控制作动元件，经此对端口进行开启或关闭的控制。

在本发明的一实施例中，上述的固定部设置于致动单元的任意位置，经此形成第一驱动部及第二驱动部，通过微调所述固定部设置位置，使所述第一驱动部及第二驱动部，达到相同或不同的致动能力。

在本发明的一实施例中，上述的第一驱动部及第二驱动部分别具有各自独立驱动的至少一个电极。

在本发明的一实施例中，上述的作动区包括至少一个活动件，活动件是选自弹性材质组成的弹片、弹簧、板簧等任何变化形式元件。

在本发明的一实施例中，上述的致动单元是由至少一个智能材料所组成，智能材料包含：记忆金属、热电材料、压电材料、热致变形材料等。

在本发明的一实施例中，上述的致动单元包括至少一个支撑部。

在本发明的一实施例中，上述的壳体的内部空间具有至少一个止挡件。

在本发明的一实施例中，上述的端口是对应连接于密闭容器，密闭容器包含：气囊、气袋、气瓶等任何变化形式元件。

在本发明的一实施例中，上述的输入源是连接止回阀，通过止回阀控制气体或流体的传导方向。

在本发明的一实施例中，上述的输入源是连接过滤元件，通过过滤元件进行气体或流体的过滤。

在本发明的一实施例中，上述的壳体是连接压力感测器。

基于上述，本发明的多向控制阀装置，通过壳体内部空间设置致动单元搭配作动区，由于作动元件的杠杆运动原理，有效使输入源提供的气体或流体准确传导至对应端口，提高多向控制阀驱动效率。另外，将固定部设置于致动器的任意位置，经此配置形成第一驱动部及第二驱动部，通过固定部位置的调整，可使第一驱动部及第二驱动部，达到相同或不同的致动能力。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本发明的第一实施例的多向控制阀装置的剖面示意图。

图2是图1的多向控制阀装置的立体示意图。