[发明专利]一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置及生长方法

权利要求书

1.一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置，包括炉体(9)，其特征在于，所述炉体(9)两侧相对开门结构，采用板状石墨电阻加热器(1)，石墨硬毡(2)作为保温材料，整体热场为双温区结构，圆形坩埚(4)四周有四片板状石墨加热器(1)，为主加热区，在蓝宝石板材(5)大面平行的两侧设有后加热器，主加热和后加热温区由石墨硬毡(2)作为隔热屏将两者隔开，隔热屏水平放置于坩埚盖(3)上部且位于模具(6)两侧。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置，其特征在于，所述的主加热区和后加热区可分别独立控制。

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置，其特征在于，所述的模具(6)为两片平面板拼接结构，模具(6)宽度250-450mm，厚度8-30mm，高度40-150mm，中间毛细缝宽度0.2-2mm，模具6顶部为90-180度夹角。

4.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置，其特征在于，所述的蓝宝石板材(5)大面为A面，提拉方向为M向或C向，蓝宝石板材长度400-1000mm。

5.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置，其特征在于，所述的坩埚(4)材料为钼、钨、铱、或铼。

6.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置，其特征在于，所述的模具(6)材质为钼、钨、铱、或铼。

7.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置，其特征在于，所述炉体(9)为长方体。

8.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置，其特征在于，所述坩埚(4)与炉体(9)的内底部通过坩埚支撑杆(8)固定连接。

9.一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：先将原料进行装炉，然后对炉体(9)内进行抽真空；

步骤2：然后对炉体(9)内进行充气，然后对炉体(9)进行升温，实现蓝宝石的融化；

步骤3：进行引晶和放肩至等径阶段，并持续到晶体生长完成；

步骤4：然后对炉体(9)进行原位退火，再降温至室温，然后取出晶体。