[发明专利]一种利用激光诱导气泡空化去除金刚石表面石墨的方法在审
| 申请号： | 202110693876.9 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113369699A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 刘铎;张汪阳 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/082;B23K26/04 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 韩献龙 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 激光 诱导 气泡 去除 金刚石 表面 石墨 方法 | ||
1.一种利用激光诱导气泡空化去除金刚石表面石墨的方法，包括步骤：
(1)将表面含有石墨的金刚石浸没于溶剂中；
(2)激光在步骤(1)中表面含有石墨的金刚石上方聚焦进行扫描，利用激光诱导产生射流以及气泡空化产生冲击力以去除金刚石表面的石墨。
2.根据权利要求1所述利用激光诱导气泡空化去除金刚石表面石墨的方法，其特征在于，步骤(1)中所述溶剂为水或乙醇。
3.根据权利要求1所述利用激光诱导气泡空化去除金刚石表面石墨的方法，其特征在于，步骤(1)中，溶剂上表面与表面含有石墨的金刚石的上表面的距离为0.2-5mm。
4.根据权利要求1所述利用激光诱导气泡空化去除金刚石表面石墨的方法，其特征在于，步骤(2)中激光聚焦的焦点位于表面含有石墨的金刚石的上方，焦点与表面含有石墨的金刚石的上表面的垂直距离为5-200μm。
5.根据权利要求4所述利用激光诱导气泡空化去除金刚石表面石墨的方法，其特征在于，焦点与表面含有石墨的金刚石的上表面的垂直距离为20-50μm。
6.根据权利要求5所述利用激光诱导气泡空化去除金刚石表面石墨的方法，其特征在于，焦点与表面含有石墨的金刚石的上表面的垂直距离为30μm。
7.根据权利要求1所述利用激光诱导气泡空化去除金刚石表面石墨的方法，其特征在于，步骤(2)中激光为脉冲激光，焦点处的光斑半径大于等于32μm；激光扫描的波长为200-1200nm，脉宽为纳秒、皮秒、飞秒，功率为10-16W，频率为1-20kHz，扫描的行间距为20-120μm，扫描时间为1-3min。
8.根据权利要求7所述利用激光诱导气泡空化去除金刚石表面石墨的方法，其特征在于，激光扫描的波长为900-1200nm，脉宽：纳秒，功率为10-12W，频率为15-20kHz，扫描的行间距为50-100μm，扫描时间为1-2min。
9.根据权利要求8所述利用激光诱导气泡空化去除金刚石表面石墨的方法，其特征在于，激光扫描的波长为1064nm，脉宽：32纳秒，功率为10W，频率为20kHz，扫描的行间距为50μm，扫描时间为1min。
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