[发明专利]固态成像装置及电子装置在审
申请号: | 202110694583.2 | 申请日: | 2016-02-12 |
公开(公告)号: | CN113437104A | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 田舎中博士;秋山健太郎;坂野赖人;大井上昂志;萩本贤哉;松村勇佑;佐藤尚之;宫波勇树;上田洋一;松本良辅 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H04N5/359;H04N5/374 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 李晗;曹正建 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固态 成像 装置 电子 | ||
1.一种固态图像感测装置,包括:
光电转换单元;
电荷保持单元,用于保持从所述光电转换单元转移的电荷;
第一转移晶体管,用于将来自所述光电转换单元的电荷转移到所述电荷保持单元;和
遮光部,包括第一遮光部和第二遮光部,
其中所述第一遮光部布置在与作为所述光电转换单元的光接收表面的第一表面相对的第二表面和所述电荷保持单元之间并覆盖所述第二表面,且形成有第一开口,以及
所述第二遮光部包围所述光电转换单元的侧表面。
2.根据权利要求1所述的固态图像感测装置,
其中所述第一遮光部的横截面从与所述第二遮光部的连接部向所述第一开口逐渐收缩。
3.根据权利要求1所述的固态图像感测装置,还包括:
第三遮光部,用于在从形成所述第一转移晶体管的装置形成表面远离所述第一遮光部的位置处至少覆盖所述电荷保持单元的、与所述第一遮光部对置的表面相对的表面。
4.根据权利要求1所述的固态图像感测装置,
其中所述第一转移晶体管的栅极电极包括平行于所述第一遮光部的第一电极部和垂直于所述第一遮光部并从更靠近所述电荷保持单元的所述第一遮光部经由所述第一开口向所述光电转换单元延伸的第二电极部。
5.根据权利要求4所述的固态图像感测装置,还包括:
第四遮光部,该第四遮光部连接到所述第一遮光部并至少部分地布置成更靠近所述电荷保持单元而不是更靠近所述第一遮光部且平行于所述第二表面布置在与所述第二遮光部不同的位置处。
6.根据权利要求4所述的固态图像感测装置,
其中所述光电转换单元形成在第一半导体基板上,
所述电荷保持单元形成在第二半导体基板上,
所述第一转移晶体管形成在所述第一半导体基板和所述第二半导体基板之上,以及
所述第一半导体基板和所述第二半导体基板之间的接合界面形成在所述第一转移晶体管的沟道中。
7.根据权利要求6所述的固态图像感测装置,
其中所述接合界面形成为更靠近所述转移晶体管的漏极端而不是更靠近所述转移晶体管的源极端。
8.根据权利要求6所述的固态图像感测装置,
其中所述第二遮光部由所述光电转换单元的第二表面形成,
所述装置还包括:
由所述光电转换单元的第一表面形成并连接到所述第二遮光部的第五遮光部。
9.根据权利要求1所述的固态图像感测装置,
其中所述光电转换单元、所述电荷保持单元和所述第一转移晶体管由单晶硅制成。
10.一种电子装置,包括根据权利要求1-9中任一项所述的固态图像感测装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的