[发明专利]光电探测器频率响应测试装置及其测试方法

权利要求书

1.一种光电探测器频率响应测试方法，其特征在于，包括：

波形发生器向可调谐激光器周期性提供频率为f且低电平固定为V₁和高电平固定为V₂的方波调谐信号，其中，周期为2Δt；

所述可调谐激光器接收所述方波调谐信号，产生波长分别为λ₁和λ₂的周期性变化的激光；其中，所述波长为λ₁的激光与所述波长为λ₂的激光的切换时间间隔为Δt；

所述波长为λ₁的激光由光耦合器的第一输入端口进入所述光耦合器，由所述光耦合器的第一输出端口输出频率为f₁的光A；

所述波长为λ₂的激光由所述光耦合器的第一输入端口进入所述光耦合器，经过所述光耦合器的第二输出端口、可调延时光纤、所述光耦合器的第二输入端口，由所述第一输出端口输出频率为f₂的光B；其中，所述光A与所述光B的频率差为Δf＝f₂-f₁；所述可调延时光纤用于将所述光B按照相对于所述光A的时延量为T_d的时长进行延时处理；所述可调延时光纤的时延量T_d＝(2n+1)×Δt，其中n为大于等于0的整数；

强度调制器同时接收所述频率为f₁的光A与所述频率为f₁+Δf的光B；

微波信号源与所述强度调制器的射频输入端口相连接，向所述强度调制器提供调制信号f_m；

所述强度调制器接收所述调制信号f_m，并产生频率为f₁±f_m的±1阶微波调制边带和频率为f₁+Δf±f_m的±1阶微波调制边带；

待测光电探测器对所述强度调制器产生的频率为f₁+f_m的+1阶微波调制边带与所述频率为f₁+Δf-f_m的-1阶微波调制边带拍频，得到频率为|Δf-2f_m|的谱线；

所述待测光电探测器对所述强度调制器产生的频率f₁-f_m的-1阶微波调制边带与所述频率为f₁+Δf+f_m的+1阶微波调制边带拍频，得到频率为2f_m+Δf的谱线；

利用频谱分析仪分别记录所述频率为2f_m+Δf的谱线对应的功率和所述频率为|Δf-2f_m|的谱线对应的功率，得到所述待测光电探测器在频率2f_m+Δf和|Δf-2f_m|对应的频率响应。

2.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，还包括：改变所述调制信号f_m，记录在不同的所述调制信号f_m的调制下，所述频率为2f_m+Δf和|Δf-2f_m|的谱线对应的功率，得到所述待测光电探测器在频率2f_m+Δf和|Δf-2f_m|对应的频率响应；其中，最大频率为2f_m(max)+Δf，f_m(max)为f_m的最大值。

3.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述可调谐激光器为包含有相区的三段式或四段式可调谐激光器。

4.根据权利要求2所述的测试方法，其特征在于，当Δf-2f_m(max)0，得到所述待测光电探测器对直流电的频率响应。

5.根据权利要求4所述的测试方法，其特征在于，所述待测光电探测器频率响应的频率范围为直流电到2f_m(max)+Δf。